醋酸对电化学沉积氮化碳薄膜的影响  

作　　者：田瑀[1,2] 王建中[1,2] 于卫锋[1,2] 曹荣根[3] 宋云[3] 宁西京[1,2] 

机构地区：[1]复旦大学现代物理研究所,上海200433 [2]复旦大学教育部应用离子束物理重点实验室,上海200433 [3]复旦大学材料科学系电子材料实验室,上海200433

出　　处：《中国科学（E辑）》2009年第8期1414-1418,共5页Science in China(Series E)

基　　金：国家自然科学基金资助项目(批准号:10574030)

摘　　要：采取电化学沉积方法,在尿素的甲醇溶液中制备CNx薄膜,发现在反应原液中加入适量醋酸（CH3COOH）对成膜过程有重要影响.优化实验条件,于单晶硅表面获得了3-7μm的氮化碳多晶颗粒.X射线衍射谱分析表明,晶粒主要为立方相及少量β相和α相.

关 键 词：氮化碳 电化学沉积 CNX薄膜 反应机理 

分 类 号：O613.71[理学—无机化学]