CNX薄膜

作品数：23被引量：43H指数：4
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离子液体热解制备CN_x薄膜及其摩擦学性能被引量：1
《中国表面工程》2014年第6期110-115,共6页陈友明 吴浩然 赵浩 郭源君 
国家自然科学基金(51205125;51275167)
为探索简易的碳基薄膜材料制备工艺,采用一种新型碳氮基骨架先驱体——离子液体热解在Q235钢和304不锈钢表面制备了CNx薄膜,利用扫描电子显微镜(SEM)和拉曼光谱仪等对CNx薄膜的表面形貌和结构进行了分析,并对其摩擦学性能进行了考察。...
关键词：CNX薄膜 热处理 离子液体 摩擦学性能 
反应磁控溅射方法制备CN_x薄膜的高温抗氧化性能
《机械工程材料》2014年第5期71-75,共5页陈向阳 张瑾 胡海霞 周哲波 
安徽理工大学青年教师资助项目
采用反应磁控溅射方法在高速钢基体上制备了CNx薄膜,通过改变氮气和氩气的流量比来调整CNx薄膜中的氮含量,并采用XRD、HR-TEM、SEM、FTIR和显微硬度计等对薄膜的结构及其在300,400,500,600℃下的高温抗氧化性能进行了表征。结果表明:CN...
关键词：CNX薄膜 抗氧化性能 氮含量 反应磁控溅射 
不同N/C比纳米碳氮膜对多壁碳纳米管抗凝血性能的影响被引量：4
《天津师范大学学报（自然科学版）》2014年第2期31-36,共6页赵梦鲤 李德军 董磊 刘小绮 曹叶 
国家自然科学基金资助项目(51272176);国家重大科学研究计划资助项目(2012CB933600);天津师范大学青年基金资助项目(52XQ1204);北京师范大学教育部重点实验室开放基金资助项目
为改善多壁碳纳米管(multi-walled carbon nanotubes,MWCNTs)材料的抗凝血性能,采用离子束辅助沉积(ion beam assisted deposition,IBAD)技术,在MWCNTs表面沉积不同N/C比的纳米碳氮(CNx)薄膜.利用扫描电子显微镜(scanning electron micr...
关键词：离子束辅助沉积 沉积CNx薄膜的MWCNTs 抗凝血性能 血小板黏附 动态凝血时间 
载荷和对磨速率对CNx薄膜的摩擦学性能的影响
《材料科学与工程学报》2013年第6期891-895,共5页张瑾 陈向阳 马胜利 
用反应磁控溅射方法在高速钢基体上制备了CNx薄膜材料,用高分辨透射电镜(HRTEM)研究CNx薄膜的微观结构,用X射线光电子能谱仪(XRD)研究薄膜的元素组成和化学键类型,用显微硬度计检测薄膜的硬度,用划痕仪检测薄膜的结合力,通过改变对磨过...
关键词：CNX薄膜 摩擦学 载荷 对磨速率 
沉积气压对脉冲激光沉积CN_x薄膜结构和摩擦学特性的影响被引量：2
《光电子．激光》2013年第6期1126-1132,共7页杨芳儿 陈占领 郑晓华 郑晋翔 沈涛 
浙江省自然科学基金(Y4110645)资助项目
以脉冲激光沉积(PLD)的CNx材料为靶源,以单晶Si片为衬底,在N2气压为2～11Pa下PLD制备了CNx薄膜。采用X射线光电子能谱(XPS)、拉曼(Raman)光谱、扫描电子显微镜(SEM)和球盘式摩擦磨损试验机分别对薄膜的化学成分、价键状态、表面形貌和...
关键词：CNX薄膜 脉冲激光沉积(PLD) X射线光电子能谱(XPS) 拉曼(Raman)光谱 摩擦与磨损 
超细晶TiNi表面磁控溅射CNx薄膜的纳米压痕与摩擦性能被引量：4
《稀有金属材料与工程》2013年第3期585-588,共4页许晓静 刘敏 张体峰 凌智勇 盛新兰 陈丹 
江苏省高校自然基金重大项目(11KJA430004);江苏大学优秀学术青年骨干培养对象基金(1211110001)
采用室温磁控溅射技术在超细晶TiNi合金表面制备出CNx/SiC(氮化碳/碳化硅)双层薄膜,SiC为中间层。研究了CNx薄膜的组织结构、纳米压痕和摩擦性能。结果表明:CNx薄膜存在微孔缺陷(基体中夹杂物脱落等原因引起)、石墨含量高、纳米硬度(5.2...
关键词：TiNi基材 薄膜 微结构 纳米压痕 摩擦性能 磁控溅射 
醋酸对电化学沉积氮化碳薄膜的影响被引量：4
《中国科学（E辑）》2009年第8期1414-1418,共5页田瑀 王建中 于卫锋 曹荣根 宋云 宁西京 
国家自然科学基金资助项目(批准号:10574030)
采取电化学沉积方法,在尿素的甲醇溶液中制备CNx薄膜,发现在反应原液中加入适量醋酸（CH3COOH）对成膜过程有重要影响.优化实验条件,于单晶硅表面获得了3-7μm的氮化碳多晶颗粒.X射线衍射谱分析表明,晶粒主要为立方相及少量β相和α相.
关键词：氮化碳 电化学沉积 CNX薄膜 反应机理 
N含量对CN_x薄膜结构和介电性能的影响
《真空》2009年第1期17-21,共5页光磊 徐军 张明明 陆文琪 赵艳艳 
利用双放电腔微波ECR等离子体增强非平衡磁控溅射(MW-ECR PEUMS)系统,在室温下制备CNx薄膜。通过傅立叶变换红外光谱、X光电子能谱表征技术以及椭偏仪测试手段,研究了N含量对CNx薄膜结构和介电性能的影响。研究结果表明,随着CNx薄膜N/C...
关键词：CNX薄膜 N/C比 折射率 介电常数 电子极化 
TiN中间层对CN_x薄膜摩擦学性能的影响
《稀有金属材料与工程》2008年第A01期477-480,共4页唐利强 刘军 陈志刚 吴燕杰 
采用射频反应磁控溅射法在硬质合金衬底上沉积了CN_x薄膜和CN_x/TiN复合薄膜。薄膜的结构和元素成分用傅里叶变换红外光谱(FTIR)和X射线光电子能谱(XPS)测试。红外吸收光谱说明薄膜中碳、氮原子结合成的化学键有C-N,C=N和C≡N,另外还存...
关键词：CNX薄膜 硬质合金 X光电子能谱 摩擦性能 
CN_x薄膜沉积参数对等离子体参数以及表面粗糙度的影响
《真空》2008年第3期59-61,共3页刘松 李德军 
天津市科技计划国际合作项目(07ZCGHHZ01500)
利用超高真空脉冲直流磁控溅射技术制备了纳米量级厚度的CNx薄膜。利用自行设计的一种简单的探针测定了薄膜合成中的等离子体参数,获得了等离子体参数与合成工艺参数的关系。结果表明:在300 W的靶功率和-100 V的偏压下,等离子体的电子...
关键词：磁控溅射 CNX薄膜 等离子体参数 粗糙度 
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