张明明

作品数：2被引量：6H指数：1
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供职机构：大连理工大学材料科学与工程学院三束材料改性教育部重点实验室更多>>
发文主题：化学结构等离子体技术O磁控溅射CNX薄膜更多>>
发文领域：理学金属学及工艺一般工业技术更多>>
发文期刊：《真空科学与技术学报》《真空》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
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N含量对CN_x薄膜结构和介电性能的影响
《真空》2009年第1期17-21,共5页光磊 徐军 张明明 陆文琪 赵艳艳 
利用双放电腔微波ECR等离子体增强非平衡磁控溅射(MW-ECR PEUMS)系统,在室温下制备CNx薄膜。通过傅立叶变换红外光谱、X光电子能谱表征技术以及椭偏仪测试手段,研究了N含量对CNx薄膜结构和介电性能的影响。研究结果表明,随着CNx薄膜N/C...
关键词：CNX薄膜 N/C比 折射率 介电常数 电子极化 
等离子体技术沉积SiCN薄膜中杂质O的来源、化合状态及其对薄膜结构和性能的影响被引量：6
《真空科学与技术学报》2009年第1期26-30,共5页赵艳艳 徐军 丁万昱 张明明 陆文琪 
国家自然科学基金(No.60576022;No.50572012)资助课题
利用微波ECR等离子体增强非平衡磁控溅射法制备了硅碳氮(SiCN)薄膜,并利用X射线光电子能谱、扫描电镜、椭偏光谱仪等对薄膜成分、结构、性能等进行表征。结果表明薄膜中O杂质含量及其结合态对薄膜的化学结构和机械性能都产生了很大影响...
关键词：SiCN薄膜 微波-ECR等离子体 化学结构 杂质 
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