紫外波段激光光刻用的VM型变焦距显微镜  

作　　者：吴秀丽 

出　　处：《光机电信息》1998年第8期26-30,共5页OME Information

摘　　要：近年半导体器件的高集成化微细加工,对微米及亚微米的要求迅速发展,在显微镜下作业必须具备高分辨率和长工作距离的物镜,要求的波长不只局限在可见光,要向红外方向发展。

关 键 词：光刻 紫外波段 激光 变焦距 显微镜 

分 类 号：TN305.7[电子电信—物理电子学] TH742.9[机械工程—光学工程]