超大规模集成电路互连线问题的研究分析  

作　　者：谢鑫[1] 

机构地区：[1]上海交通大学电子工程系,上海200240

出　　处：《科技创新导报》2009年第27期54-54,共1页Science and Technology Innovation Herald

摘　　要：超大规模集成电路的互连线问题当今集成电路领域的一个研究热点,随着半导体器件和互连线尺寸的不断缩小,越来越多的关键设计指标——性能、抗扰度等——将主要取决于互连线,或受互连线的严重影响。为了加强对于互连线技术的了解和对互连线问题的进行研究,文章讨论了互连线模型中各元件的影响及对互连线的建模。

关 键 词：超大规模集成电路 互连线问题 建模 RC模型 RLC模型 

分 类 号：TN47[电子电信—微电子学与固体电子学]