新型微电子器件的发展现状和主要技术  

作　　者：王长河 

出　　处：《通讯与元器件》1998年第5期1-3,共3页

关 键 词：微电子器件 半导体微细加工 新型半导体器件 

分 类 号：TN303[电子电信—物理电子学] TN4