新型半导体工艺技术的发展  

作　　者：Bull.,WM 

出　　处：《通讯与元器件》1998年第5期4-6,共3页

关 键 词：半导体工艺 IC 制造工艺 

分 类 号：TN305[电子电信—物理电子学] TN405