Fe_2O_3-SnO_2双层薄膜对氨气敏感特性及其机理研究  

Study of Sensing Properties and Sensing Mechanism of Fe 2O 3 SnO 2 Double Layer Thin Films to Ammonia

作　　者：戴国瑞[1] 何秀丽[1] 王宗昌[1] 南金[1] 

机构地区：[1]吉林大学电子工程系

出　　处：《Journal of Semiconductors》1998年第10期745-751,共7页半导体学报（英文版）

基　　金：国家自然科学基金

摘　　要：本文报道了以Ｆｅ（ＣＯ）５和ＳｎＣｌ４为源，采用ＰＥＣＶＤ技术淀积Ｆｅ２Ｏ３－ＳｎＯ２双层薄膜，将该薄膜淀积在陶瓷管上，对氨气的敏感特性进行了测量，并讨论了敏感机理．Abstract Fe 2O 3 SnO 2 double layer films have been prepared on a porcelain tube by using PECVD technique with Fe(CO) 5 and SnCl 4 as precursors. The sensing characteristics of the thin films to ammonia are measured and its sensing mechanism is discussed.

关 键 词：半导体 敏感器件 传感器 氨气 敏感薄膜 

分 类 号：TN379[电子电信—物理电子学] TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]