不同衬底上CSS法制备的CdTe薄膜结构比较  

作　　者：侯娟[1] 宋春燕[1,2] 

机构地区：[1]石河子大学师范学院物理系,新疆石河子832003 [2]新疆大学物理与科学技术学院,新疆乌鲁木齐830046

出　　处：《科技信息》2009年第27期13-14,共2页Science & Technology Information

基　　金：石河子大学立项课题(ZRKX200732)资助

摘　　要：采用近距离升华法(CSS)分别在Si、ITO/玻璃、普通玻璃三种衬底上沉积了CdTe多晶薄膜,通过X射线衍射(XRD)分析,比较了它们的微结构。结果表明,用Si作为衬底沉积的CdTe具有很强(111)面择优取向。通过对不同衬底上沉积的CdTe薄膜(111)峰择优取向的研究,发现薄膜的微结构与衬底的结构以及粗糙度有着密切的关系,衬底表面粗糙,成核密度高,沉积的薄膜具有较低的择优取向度。

关 键 词：近距离升华(CSS) X射线衍射(XRD) 衬底 择优取向 

分 类 号：TN304.25[电子电信—物理电子学] TP333.4[自动化与计算机技术—计算机系统结构]