激光电子散斑于涉测微小位移  

作　　者：张霖[1] 徐平[1] 王光能[1] 

机构地区：[1]北京航空航天大学九系,100083

出　　处：《物理实验》1998年第5期24-26,共3页Physics Experimentation

摘　　要：介绍了利用激光电子散班干涉测量微小位移的原理和方法，并对其测量范围和测量精度进行了分析，给出了具体的测量结果．

关 键 词：激光 电子散斑干涉 电荷耦合器件 位移测量 

分 类 号：O348.12[理学—固体力学]