非接触式表面电势测量的MEMS微型静电压仪  

作　　者：彭春荣[1,2] 刘世国[1,2] 张海岩[1,2] 郭鑫[1,2] 夏善红[1,2] 

机构地区：[1]中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,北京100190 [2]中国科学院研究生院,北京100039

出　　处：《仪表技术与传感器》2009年第B11期321-323,共3页Instrument Technique and Sensor

基　　金：国家863计划资助(2006AA04Z347)

摘　　要：针对工业中的表面电势测量应用,研制了一种新型的基于微机械加工技术(MEMS技术)的微型静电压仪。为了提高器件的信噪比和灵敏度,传感器敏感结构基于谐振式工作原理,并采用差分激励和差分敏感的结构设计。基于高速数字芯片和数字信号处理技术,研制了传感器的数字化检测系统原理样机。该传感器可实现非接触式表面电势测量,在距离目标表面20 mm位置,该传感器最小分辨电压优于10 V,精度优于10%。文中还进行了摩擦泡沫表面电势的测量,试验结果表明:该传感器可反映表面电势的变化和电荷衰减。

关 键 词：静电压测试 电场传感器 非接触静电压仪 微机电系统(MEMS) 谐振器 

分 类 号：TP212.2[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]