张海岩

作品数：6被引量：29H指数：3
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供职机构：中国科学院电子学研究所更多>>
发文主题：微型电场传感器MEMS微机电系统电场传感器谐振器更多>>
发文领域：自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《仪表技术与传感器》《传感技术学报》《电子与信息学报》更多>>
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SOI微型电场传感器的设计与测试被引量：21
《电子与信息学报》2011年第11期2771-2774,共4页杨鹏飞 彭春荣 张海岩 刘世国 夏善红 
国家863计划项目(2011AA040405)资助课题
该文研制了一种新型的基于SOI(Silicon-On-Insulator)微机械加工技术的高性能电场传感器敏感结构。为提高传感器的灵敏度和信噪比,该器件采用侧面屏蔽感应电极的独特设计方案,降低了传感器屏蔽电极的边缘效应;并基于有限元仿真,进一步...
关键词：电场微传感器 微机电系统(MEMS) 绝缘体上硅(SOI) 分辨率 
基于Labview的微型电场传感器自动标定系统被引量：3
《信息与电子工程》2011年第5期619-622,共4页张海岩 彭春荣 刘世国 杨鹏飞 夏善红 
"863"计划资助项目(2008AA042207);"863"计划资助项目(2006AA04Z347)
针对微型电场传感器输出信号弱(pA量级)、噪声强等特点,设计了一种新型的传感器微弱信号检测与标定测试系统。该系统采用Labview可视化编程语言,实现传感器的采集控制和信号处理,并基于新型的相关检测和噪声抑制技术,可实现信噪比达到-6...
关键词：微型电场传感器 标定系统 LABVIEW语言 
新型推挽激励的谐振式微机械静电场传感器被引量：3
《纳米技术与精密工程》2010年第4期341-345,共5页彭春荣 刘世国 张海岩 郭鑫 夏善红 
国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2006AA04Z347;2008AA042207)
为了提高传感器的信噪比(signal-to-noise ratio,SNR),降低器件的耦合干扰,基于表面微机械工艺设计制作了一种新型推挽激励方案的谐振式微型静电场传感器.该传感器敏感结构主要包括静电梳齿激励电极、屏蔽电极和感应电极3部分.工作时,...
关键词：静电场测试 电场传感器 微机电系统(MEMS) 谐振器 静电激励 
热驱动微型电场传感器干燥技术被引量：1
《传感技术学报》2010年第6期786-790,共5页郭鑫 杨鹏飞 张海岩 彭春荣 夏善红 
863项目资助(2008AA042207)
介绍了热驱动微型电场传感器的工艺流程,主要介绍了微型电场传感器的释放干燥工艺。热驱动微型电场传感器工艺存在的最大问题是牺牲层释放以后容易产生粘连,为了避免粘连现象的产生,采用了不同的干燥方法,如蒸发干燥法、CO2临界点干燥...
关键词：电场传感器 粘连现象 临界点干燥 自组装膜 
微型电场传感器的结构释放过程中粘连现象的控制方法被引量：3
《仪表技术与传感器》2009年第B11期328-329,352,共3页郭鑫 张海岩 彭春荣 夏善红 
863项目(2006AA04Z347)
研究了微型电场传感器结构释放过程的粘连现象,通过实验采用不同的方法来避免粘连现象的产生,如蒸发干燥法,CO_2临界点干燥法,自组装膜方法,并对这些方法的优缺点进行了比较。结果表明CO_2临界点干燥法和自组装膜方法能够较好的避免粘...
关键词：微型电场传感器 粘连现象 临界点干燥 自组装膜 
非接触式表面电势测量的MEMS微型静电压仪被引量：2
《仪表技术与传感器》2009年第B11期321-323,共3页彭春荣 刘世国 张海岩 郭鑫 夏善红 
国家863计划资助(2006AA04Z347)
针对工业中的表面电势测量应用,研制了一种新型的基于微机械加工技术(MEMS技术)的微型静电压仪。为了提高器件的信噪比和灵敏度,传感器敏感结构基于谐振式工作原理,并采用差分激励和差分敏感的结构设计。基于高速数字芯片和数字信号处...
关键词：静电压测试 电场传感器 非接触静电压仪 微机电系统(MEMS) 谐振器 
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