杨鹏飞

作品数：8被引量：57H指数：5
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供职机构：北京大学更多>>
发文主题：硫属电场传感器单质氩气微型电场传感器更多>>
发文领域：自动化与计算机技术文化科学一般工业技术金属学及工艺更多>>
发文期刊：《电子与信息学报》《传感器与微系统》《传感技术学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划北京市自然科学基金更多>>
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基于MEMS技术的非接触式人体静电测量装置被引量：5
《电子与信息学报》2017年第8期1835-1840,共6页闻小龙 彭春荣 杨鹏飞 陈博 夏善红 
国家自然科学基金(61302032;61327810)~~
为解决传统非接触式静电仪工作时振动或旋转部件裸露在外,无法在静电高危区域使用,难以测量运动人体带电情况等难题,该文研制出基于MEMS电场传感器的非接触式静电测量装置。提出一种新型检测电极与敏感芯片相连结构,显著增大了电场感应...
关键词：微机械电子系统 电场传感器 非接触 静电测量 静电仪 
MEMS结构的带电作业电场测量预警系统被引量：10
《传感器与微系统》2017年第4期111-113,120,共4页顾植彬 杨鹏飞 彭春荣 夏善红 
国家自然科学基金重大仪器专项项目(61302032);国家"863"计划资助项目(2015AA042602)
基于高性能的微机电系统(MEMS)敏感结构芯片研制了一种新型带电作业电场测量预警系统,通过实时检测电场大小,当超出电场安全阈值发出预警信号,提醒作业人员采取相应的安全措施。基于相敏检测原理,设计了一种可抑制背景噪声的快速模拟解...
关键词：带电作业 安全距离预警 微机电系统 电场敏感芯片 多探头检测 
一种基于MEMS芯片的新型地面大气电场传感器被引量：14
《电子与信息学报》2016年第6期1536-1540,共5页杨鹏飞 陈博 闻小龙 彭春荣 夏善红 郝一龙 
国家自然科学基金项目(61327810;61201078);国家自然科学基金重大仪器专项(61302032)~~
该文基于MEMS电场敏感芯片,研制出了一种新型的地面大气电场传感器,解决了现有场磨式电场仪易磨损、功耗大、故障率高等问题。敏感芯片采用SOIMUMPS加工工艺制备,其芯片面积仅为5.5 mm×5.5 mm。该文提出了传感器敏感芯片的弱信号检测方...
关键词：微机电系统 电场传感器 MEMS地面大气电场传感器 
谐振式微型电场传感器芯片级真空封装及测试被引量：1
《电子与信息学报》2015年第9期2282-2286,共5页毋正伟 彭春荣 杨鹏飞 闻小龙 李冰 夏善红 
国家自然科学基金(61101049;61327810)资助课题
为了降低传感器的驱动电压,提高该器件的品质因数和信噪比,该文研究封装材料和工艺对真空封装性能的影响,针对一种微机电系统(MEMS)谐振式微型电场敏感结构芯片,采用独特的共晶键合技术,实现该传感器的芯片级真空封装。实验结果表明,该...
关键词：微机电系统 微型电场传感器 芯片级 真空封装 
基于共面去耦结构的空间三维电场测量方法被引量：15
《电子与信息学报》2014年第10期2504-2508,共5页闻小龙 彭春荣 方东明 杨鹏飞 陈博 夏善红 
国家863计划项目(2011AA040405);国家自然科学基金(61101049;61201078;61302032;61327810)资助课题
为了准确测量空间3维电场,解决作用于电场传感器的电场各分量之间的耦合干扰问题,该文提出一种新型的基于共面去耦结构的空间3维电场探测方法。区别于在空间的X,Y,Z 3个方向上进行3维布置传统测量思路,该文提出采用3个不共线的平面分布...
关键词：MEMS电场传感器 3维电场 耦合干扰 3维标定 
SOI微型电场传感器的设计与测试被引量：21
《电子与信息学报》2011年第11期2771-2774,共4页杨鹏飞 彭春荣 张海岩 刘世国 夏善红 
国家863计划项目(2011AA040405)资助课题
该文研制了一种新型的基于SOI(Silicon-On-Insulator)微机械加工技术的高性能电场传感器敏感结构。为提高传感器的灵敏度和信噪比,该器件采用侧面屏蔽感应电极的独特设计方案,降低了传感器屏蔽电极的边缘效应;并基于有限元仿真,进一步...
关键词：电场微传感器 微机电系统(MEMS) 绝缘体上硅(SOI) 分辨率 
基于Labview的微型电场传感器自动标定系统被引量：3
《信息与电子工程》2011年第5期619-622,共4页张海岩 彭春荣 刘世国 杨鹏飞 夏善红 
"863"计划资助项目(2008AA042207);"863"计划资助项目(2006AA04Z347)
针对微型电场传感器输出信号弱(pA量级)、噪声强等特点,设计了一种新型的传感器微弱信号检测与标定测试系统。该系统采用Labview可视化编程语言,实现传感器的采集控制和信号处理,并基于新型的相关检测和噪声抑制技术,可实现信噪比达到-6...
关键词：微型电场传感器 标定系统 LABVIEW语言 
热驱动微型电场传感器干燥技术被引量：1
《传感技术学报》2010年第6期786-790,共5页郭鑫 杨鹏飞 张海岩 彭春荣 夏善红 
863项目资助(2008AA042207)
介绍了热驱动微型电场传感器的工艺流程,主要介绍了微型电场传感器的释放干燥工艺。热驱动微型电场传感器工艺存在的最大问题是牺牲层释放以后容易产生粘连,为了避免粘连现象的产生,采用了不同的干燥方法,如蒸发干燥法、CO2临界点干燥...
关键词：电场传感器 粘连现象 临界点干燥 自组装膜 
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