方东明

作品数：4被引量：28H指数：4
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供职机构：中国科学院电子学研究所更多>>
发文主题：电场传感器微型电场传感器电场三维电场屏蔽电极更多>>
发文领域：自动化与计算机技术电气工程文化科学更多>>
发文期刊：《传感器与微系统》《科学技术与工程》《电子与信息学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
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微型折叠式三维电场传感器被引量：7
《传感器与微系统》2016年第5期67-69,73,共4页方奕庚 彭春荣 方东明 王宇 夏善红 
提出一种基于柔性衬底和三维组装方法的新型三维电场传感器。利用柔性衬底的折叠,构建一种互相垂直的新型三维电场传感器,研究了测量空间电场时的耦合,提出解耦算法,标定灵敏度矩阵,实现了空间电场三个方向分量的准确测量;通过一系列的...
关键词：三维电场 三维组装 三维标定 柔性折叠 MEMS电场传感器 
基于旋转谐振结构的单芯片二维电场传感器被引量：7
《传感器与微系统》2016年第2期103-105,112,共4页王宇 方东明 陈博 彭春荣 夏善红 
国家自然科学基金资助项目(61201078;61327810)
提出并研制了一种二维电场检测传感芯片,将四个电场测量微型单元和旋转式驱动微结构集成在3.5 mm×3.5 mm的敏感结构上,实现了单芯片的电场二维测量。介绍了传感器的工作原理、敏感结构的设计,以及基于绝缘体上硅(SOI)工艺的单芯片微型...
关键词：电场传感器 微机电系统 绝缘体上硅(SOI) 旋转谐振式微执行器 二维测量 电场标定 
压电悬臂梁式微型电场传感器的设计与制备被引量：4
《科学技术与工程》2015年第8期90-94,共5页冯可 佟建华 王宇 方东明 夏善红 
提出并研制一种新型压电悬臂梁式微型电场传感器,该传感器是基于压电(PZT)薄膜驱动的悬臂梁式微型电场传感器;同时介绍了传感器的工作原理、结构设计、制作工艺以及初步测试结果。该微型电场传感器由多根压电悬臂梁构成,每根悬臂梁能同...
关键词：电场传感器 压电驱动 PZT 
基于共面去耦结构的空间三维电场测量方法被引量：15
《电子与信息学报》2014年第10期2504-2508,共5页闻小龙 彭春荣 方东明 杨鹏飞 陈博 夏善红 
国家863计划项目(2011AA040405);国家自然科学基金(61101049;61201078;61302032;61327810)资助课题
为了准确测量空间3维电场,解决作用于电场传感器的电场各分量之间的耦合干扰问题,该文提出一种新型的基于共面去耦结构的空间3维电场探测方法。区别于在空间的X,Y,Z 3个方向上进行3维布置传统测量思路,该文提出采用3个不共线的平面分布...
关键词：MEMS电场传感器 3维电场 耦合干扰 3维标定 
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