冯可

作品数：1被引量：4H指数：1
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供职机构：中国科学院电子学研究所更多>>
发文主题：微型电场传感器电场传感器压电驱动压电压电材料更多>>
发文领域：自动化与计算机技术电气工程更多>>
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压电悬臂梁式微型电场传感器的设计与制备被引量：4
《科学技术与工程》2015年第8期90-94,共5页冯可 佟建华 王宇 方东明 夏善红 
提出并研制一种新型压电悬臂梁式微型电场传感器,该传感器是基于压电(PZT)薄膜驱动的悬臂梁式微型电场传感器;同时介绍了传感器的工作原理、结构设计、制作工艺以及初步测试结果。该微型电场传感器由多根压电悬臂梁构成,每根悬臂梁能同...
关键词：电场传感器 压电驱动 PZT 
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