微型电场传感器

作品数：25被引量：83H指数：6
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相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
相关作者：夏善红彭春荣白强胡军陈绍凤更多>>
相关机构：中国科学院电子学研究所清华大学中国科学院研究生院中国科学院空天信息创新研究院更多>>
相关期刊：《电子工程学院学报》《传感技术学报》《中国机械工程》《仪表技术与传感器》更多>>
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集成差分电容式MEMS微型电场传感器设计与研制
《电子器件》2024年第1期79-83,共5页黄国平 陈锦荣 王跃强 廖峰 
南方电网公司科技项目(030600KK52220011(GDKJXM20220154))。
在继电保护实际运行中,屏柜内部一些隐性故障将造成压板投退失效,严重威胁着电网的安全可靠运行。为了能够可靠、有效地监测出口压板的带电状态或电气导通性,设计了一种SOI差分电容式MEMS电场传感器。所设计的传感器以微机械元件物理设...
关键词：继电保护 电场传感器 MEMS 硬压板 
静电力驱动的悬臂梁微型电场传感器件被引量：1
《Engineering》2023年第5期184-191,I0005,共9页Zhifei Han Jun Hu Licheng Li Jinliang He 
supported in part by the National Natural Science Foundation of China(51720105004,51921005,and 52125703)。
随着智能电网和能源互联网的发展,大规模实时电压/电场监测成为电力系统的迫切需求,这依赖于先进传感器件的大规模布置。电场测量在电力系统中具有重要意义。一方面,基于电场测量的电压反演可以实现高电压的非接触式测量,替代传统高压...
关键词：传感器件 电场测量 非接触式测量 静电力驱动 能源互联网 交流电场 悬臂结构 压阻 
面向新型电力系统的微型电场传感技术被引量：11
《中国电机工程学报》2023年第1期399-414,共16页韩志飞 胡军 李立浧 何金良 
国家自然科学基金项目(51720105004)。
高度数字化是新型电力系统的重要特征,需要构建广域、分布式电网深度全景信息实时采集的传感网络作为其支撑。电场信息是电力系统中的基础物理量。电场测量可以应用于电压反演、设备监测、雷电预警、电磁环境监测等应用场景。传统电场...
关键词：新型电力系统 电场测量技术 微型电场传感器 
微型电场传感器在工频电场测量中的应用研究被引量：1
《电子工程学院学报》2019年第5期67-72,共6页仝杰 雷煜卿 刘国华 王鹤 金学明 杨鹏飞 彭春荣 
国家发展改革委物联网技术研发及产业化专项(发改办高技〔2012〕2766号);国家电网公司总部科技项目(SGJSDK00ZPJS1600203).
该文基于高性能的MEMS电场敏感芯片研制出一种新型的工频电场测量系统。针对芯片调制被测电场后其输出信号的特征,采用正交相关检测原理提出一种可抑制背景干扰噪声的工频电场解调算法,设计出小型化、空间分辨力高的工频电场测量探头,...
关键词：电场传感器 工频电场 正交相关检测 
微型电场传感器在工频电场测量中的应用研究被引量：15
《电子与信息学报》2018年第12期3036-3041,共6页仝杰 雷煜卿 刘国华 王鹤 金学明 杨鹏飞 彭春荣 
国家发展改革委物联网技术研发及产业化专项(发改办高技[2012]2766号);国家电网公司总部科技项目(SGJSDK00ZPJS1600203)~~
该文基于高性能的MEMS电场敏感芯片研制出一种新型的工频电场测量系统。针对芯片调制被测电场后其输出信号的特征,采用正交相关检测原理提出一种可抑制背景干扰噪声的工频电场解调算法,设计出小型化、空间分辨力高的工频电场测量探头,...
关键词：电场传感器 工频电场 正交相关检测 
谐振式微型电场传感器芯片级真空封装及测试被引量：1
《电子与信息学报》2015年第9期2282-2286,共5页毋正伟 彭春荣 杨鹏飞 闻小龙 李冰 夏善红 
国家自然科学基金(61101049;61327810)资助课题
为了降低传感器的驱动电压,提高该器件的品质因数和信噪比,该文研究封装材料和工艺对真空封装性能的影响,针对一种微机电系统(MEMS)谐振式微型电场敏感结构芯片,采用独特的共晶键合技术,实现该传感器的芯片级真空封装。实验结果表明,该...
关键词：微机电系统 微型电场传感器 芯片级 真空封装 
压电悬臂梁式微型电场传感器的设计与制备被引量：4
《科学技术与工程》2015年第8期90-94,共5页冯可 佟建华 王宇 方东明 夏善红 
提出并研制一种新型压电悬臂梁式微型电场传感器,该传感器是基于压电(PZT)薄膜驱动的悬臂梁式微型电场传感器;同时介绍了传感器的工作原理、结构设计、制作工艺以及初步测试结果。该微型电场传感器由多根压电悬臂梁构成,每根悬臂梁能同...
关键词：电场传感器 压电驱动 PZT 
基于LabVIEW和MEMS敏感结构的工频电场无线检测系统被引量：6
《仪表技术与传感器》2014年第1期53-56,共4页任东宇 彭春荣 夏善红 
国家863项目(NO.2011AA040405);国家自然科学基金项目(NO.61101049)
工频电场检测在智能电网领域具有十分重要的应用前景,但目前国内外对MEMS电场传感器的研究一般只用于检测静电场。该文针对基于MEMS技术的电场敏感微结构输出信号特征,提出了一种检测工频电场的算法,并基于LabVIEW虚拟仪器结构和模块化...
关键词：工频电场 MEMS微型电场传感器 无线检测 分辨力 
基于直接数字频率合成器及正交锁相技术的交直流微型电场传感器电路被引量：2
《电子与信息学报》2013年第12期3030-3036,共7页任东宇 彭春荣 夏善红 
国家863计划项目(2011AA040405);国家自然科学基金(61101049)资助课题
为了实现AC(工频)和DC电场同时检测,该文基于MEMS电场传感器,采用直接数字频率合成器(DDS)激励及正交锁相技术研制出一种高性能微型电场传感器电路。该系统结合低噪声模拟电路和数字控制方式,采用DDS产生精准的传感器激励信号和双路正...
关键词：微型电场传感器 静电场及工频电场 直接数字频率合成器(DDS) 正交锁相放大器 分辨力 
SOI微型电场传感器的设计与测试被引量：21
《电子与信息学报》2011年第11期2771-2774,共4页杨鹏飞 彭春荣 张海岩 刘世国 夏善红 
国家863计划项目(2011AA040405)资助课题
该文研制了一种新型的基于SOI(Silicon-On-Insulator)微机械加工技术的高性能电场传感器敏感结构。为提高传感器的灵敏度和信噪比,该器件采用侧面屏蔽感应电极的独特设计方案,降低了传感器屏蔽电极的边缘效应;并基于有限元仿真,进一步...
关键词：电场微传感器 微机电系统(MEMS) 绝缘体上硅(SOI) 分辨率 
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