EM-5009B激光图形发生器的数据处理  

Data process of EM-5009B Pattern Generator

作　　者：高强[1] 赵海法[1] 

机构地区：[1]电子工业部东北微电子研究所,沈阳110032

出　　处：《微处理机》1998年第4期11-14,共4页Microprocessors

摘　　要：由设计部门转到制版部门的数据需要经过格式转换、测试等处理过程才能进行图发操作。本文介绍了数据的格式和数据的测试以及格式转换的处理过程。The data which is converted from design department to photomask department can use by pattern generator to generate photomask by the process of data format translation and testing. The data format and the process of data are described in this page.

关 键 词：制版工艺 图形发生器 数据处理 激光 半导体器件 

分 类 号：TN305.6[电子电信—物理电子学]