带动态反应池的电感耦合等离子体质谱仪分析半导体级四甲基氢氧化铵  

Determination of Semiconductor Grade Tetramethylammonium Hydroxide by Inductively Coupled Plasma-Mass Spectrometry with Dynamic Reaction Cell

作　　者：陈建敏[1] 游维松 

机构地区：[1]珀金埃尔默仪器上海有限公司北京办事处,北京100022

出　　处：《岩矿测试》2009年第6期603-604,共2页Rock and Mineral Analysis

关 键 词：四甲基氢氧化铵 电感耦合等离子体质谱仪 半导体 反应池 TMAH 杂质含量 液晶显示器 有机溶剂 

分 类 号：TN304.23[电子电信—物理电子学] TQ226.31[化学工程—有机化工]