微加工硅压力传感器  

The Microfabricated Silicon Pressure Transducer

作　　者：杨玉 贺小涛[2] 

机构地区：[1]湖南轻工业高等专科学校机电系,湖南长沙410007 [2]长沙铁道学院,湖南长沙410075

出　　处：《自动化仪表》1998年第9期27-29,共3页Process Automation Instrumentation

摘　　要：一、引言 压力是反映物质状态的重要参数之一：常用的压力传感器型式有电容式、电感式、压电式、应变式。

关 键 词：微加工 硅 压力传感器 工作原理 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] TH823.203[自动化与计算机技术—控制科学与工程]