硬质及超硬涂层的研究现状及发展趋势  

作　　者：张瑛[1] 杨俊峰[2] 方前锋[2] 

机构地区：[1]中国科学院合肥物质科学研究院图书馆,合肥230031 [2]中国科学院合肥物质科学研究院固体物理研究所,合肥230031

出　　处：《科技资讯》2009年第33期66-67,共2页Science & Technology Information

摘　　要：本文总结了硬质及超硬涂层的类型,硬度增强机理及超硬涂层的设计原则,并分析了硬质及超硬涂层研究的可能发展趋势。

关 键 词：硬质涂层 超硬涂层 纳米复合结构 多层膜 

分 类 号：TQ63[化学工程—精细化工]