杨俊峰

作品数:2被引量:10H指数:2
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供职机构:中国科学院固体物理研究所更多>>
发文主题:超硬涂层多层膜纳米复合结构硬质涂层硬质更多>>
发文领域:化学工程理学更多>>
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物理气相沉积法制备薄膜的内应力形成机理及测量方法被引量:4
《科技创新导报》2009年第34期108-110,共3页张瑛 杨俊峰 方前锋 
本文介绍了用物理气相沉积(PVD)方法制备薄膜的应力与微观结构的变化,及它们之间的相互关系,总结了应力产生的模型和机理。并就岛状模式生长多晶薄膜中的应力可逆现象给予了关注。最后,总结了当前薄膜应力的测试方法。
关键词:物理气相沉积 薄膜 内应力 
硬质及超硬涂层的研究现状及发展趋势被引量:6
《科技资讯》2009年第33期66-67,共2页张瑛 杨俊峰 方前锋 
本文总结了硬质及超硬涂层的类型,硬度增强机理及超硬涂层的设计原则,并分析了硬质及超硬涂层研究的可能发展趋势。
关键词:硬质涂层 超硬涂层 纳米复合结构 多层膜 
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