激光数显平面干涉仪研制成功  

出　　处：《军民两用技术与产品》2009年第12期27-27,共1页Dual Use Technologies & Products

摘　　要：中国兵器工业集团公司所属云南云光发展有限公司成功研制出一款激光数显平面干涉仪。该激光数显平面干涉仪主要应用于光学零件平面性精度的测量．精度可达到0．1道光圈．属于非接触式测量仪器。该干涉仪还可测量光学平板的微小楔角．

关 键 词：干涉仪 平面性 数显 激光 中国兵器工业集团公司 测量仪器 光学零件 非接触式 

分 类 号：TH744.3[机械工程—光学工程] TH715.11[机械工程—仪器科学与技术]