检索规则说明:AND代表“并且”;OR代表“或者”;NOT代表“不包含”;(注意必须大写,运算符两边需空一格)
检 索 范 例 :范例一: (K=图书馆学 OR K=情报学) AND A=范并思 范例二:J=计算机应用与软件 AND (U=C++ OR U=Basic) NOT M=Visual
作 者:姚钢
出 处:《集成电路应用》2009年第10期19-19,共1页Application of IC
摘 要:a-Si、CdTe和CIGS是目前薄膜呔阳能电池主流技术,而大部分CIGS(铜铟镓硒)电池都采用真空蒸镀方式生产——称为共蒸镀(co-evaporation),将主要材料铜铟镓与硒加热在真空中沉积于基板,这种工艺要实现大面积且均匀的铜铟镓硒膜具有相当的挑战性。
关 键 词:CIGS 真空蒸镀 A-SI CDTE 流技术 挑战性 电池 薄膜
分 类 号:TN432[电子电信—微电子学与固体电子学] TM914.42[电气工程—电力电子与电力传动]
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