澳大利亚研制纳米电子束曝光系统  

出　　处：《现代科学仪器》2009年第5期109-109,共1页Modern Scientific Instruments

摘　　要：据澳大利亚莫纳什大学网站报道，澳大利亚研究人员正在研制世界最强大的纳米设备之——电子束曝光系统（EBL）。该系统可标记纳米级的物体，还可在比人发直径小1万倍的粒子上进行书写或者蚀刻。

关 键 词：电子束曝光系统 澳大利亚 纳米设备 研究人员 纳米级 蚀刻 

分 类 号：TN305.7[电子电信—物理电子学] TN401