电子束曝光系统

作品数：29被引量：62H指数：2
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基于NBL电子束曝光系统合轴研究被引量：1
《电子工业专用设备》2016年第12期25-29,54,共6页吴文涛 王振亚 徐磊 
详述了电子束曝光系统的原理、种类、系统的构成和合轴的原理,以及如何使NBL(微纳投影)电子束曝光系统更好、更快地进行合轴,从而使NBL电子束曝光机处于最佳工作状态。
关键词：电子束 曝光系统 微纳投影(NBL) 合轴 
新知
《初中生必读》2014年第9期41-41,共1页卫东 
近地宇宙图天文学家绘制出最详细的近地宇宙图,距地球20亿光年范围内的上万个星系都能反映在这幅全新的宇宙图上。＂懂＂指令的机器人美国研制出能回应人类各种姿势的机器人,这意味着人类生产全自动机器人迈出了重要一步。最完整的智力...
关键词：人类智力 人类的智力 美国研制 电子束曝光系统 火星探测器 生命迹象 隐身衣 相互抵消 英国设计 骨髓干细胞 
澳大利亚科学家研制出电子束曝光系统
《广东科技》2009年第23期11-11,共1页
澳大利亚研究人员正在研制世界最强大的纳米设备之一——电子束曝光系统（EBL）。该系统可标记纳米级的物体，还可在比人发直径小1万倍的粒子上进行书写或者蚀刻。
关键词：电子束曝光系统 澳大利亚 科学家 纳米设备 研究人员 纳米级 蚀刻 
澳大利亚研制纳米电子束曝光系统
《大众科技》2009年第11期9-10,共2页
据澳大利亚莫纳什大学网站报道，澳大利亚研究人员正在研制世界最强大的纳米设备之一——电子柬曝光系统（EBL）。该系统可标记纳米级的物体，还可在比人发直径小1万倍的粒子上进行书写或者蚀刻。
关键词：电子束曝光系统 澳大利亚 纳米设备 研究人员 电子柬 纳米级 蚀刻 
澳大利亚正研制电子束曝光系统
《纳米科技》2009年第5期78-78,共1页
澳大利亚研究人员正在研制世界最强大的纳米设备之一——电子束曝光系统（EBL）。该系统可标记纳米级的物体，还可在比人发直径小1万倍的粒子上进行书写或者蚀刻。
关键词：电子束曝光系统 澳大利亚 纳米设备 研究人员 纳米级 蚀刻 
澳大利亚研制纳米电子束曝光系统
《现代科学仪器》2009年第5期109-109,共1页
据澳大利亚莫纳什大学网站报道，澳大利亚研究人员正在研制世界最强大的纳米设备之——电子束曝光系统（EBL）。该系统可标记纳米级的物体，还可在比人发直径小1万倍的粒子上进行书写或者蚀刻。
关键词：电子束曝光系统 澳大利亚 纳米设备 研究人员 纳米级 蚀刻 
澳大利亚研制纳米电子束曝光系统是制作微小纳米电子元件的最佳设备
《光学仪器》2009年第5期77-77,共1页
据澳大利亚莫纳什大学网站报道，澳大利亚研究人员正在研制世界最强大的纳米设备之一——电子束曝光系统（EBL）。该系统可标记纳米级的物体，还可在比人发直径小1万倍的粒子上进行书写或者蚀刻。电子束曝光技术可直接刻画精细的图案，...
关键词：电子束曝光系统 纳米设备 实验室制作 澳大利亚 电子元件 电子束曝光技术 研究人员 纳米图形 
澳大利亚研制纳米电子束曝光系统
《化工科技市场》2009年第10期64-64,共1页
据澳大利亚莫纳什大学网站报道，澳大利亚研究人员正在研制世界最强大的纳米设备之一——电子束曝光系统（EBL）。该系统可标记纳米级的物体，还可在比人发直径小1万倍的粒子上进行书写或者蚀刻。
关键词：电子束曝光系统 澳大利亚 纳米设备 研究人员 纳米级 蚀刻 
纳米电子束曝光系统
《光学精密机械》2009年第3期2-2,共1页
据澳大利亚莫纳什大学网站报道，澳大利亚研究人员正在研制世界最强大的纳米设备之一——电子束曝光系统（EBL）。该系统可标记纳米级的物体，还可在比人发直径小1万倍的粒子上进行书写或者蚀刻。
关键词：电子束曝光系统 纳米设备 澳大利亚 研究人员 纳米级 蚀刻 
澳大利亚研制纳米电子束曝光系统
《激光与光电子学进展》2009年第11期10-10,共1页
澳大利亚莫纳什大学的研究人员正在研制世界最强大的纳米设备之一——电子束曝光系统（EBL）。该系统可在纳米级的物体上进行书写或者蚀刻。
关键词：电子束曝光系统 澳大利亚 纳米设备 研究人员 纳米级 蚀刻 
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