王振亚

作品数:4被引量:2H指数:1
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供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所更多>>
发文主题:红外发光二极管红外传感器光轴近距偏振片更多>>
发文领域:电子电信金属学及工艺更多>>
发文期刊:《电子工业专用设备》《红外》更多>>
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快速退火炉高温计的校温
《红外》2017年第11期39-43,共5页徐磊 王振亚 吴文涛 
作为半导体生产中的一种重要设备,快速退火炉需要实现精确、可靠的温度控制。它通常使用辐射式高温计来检测温度。在使用过程中,由于诸多原因,需要对高温计进行校温。基于某型进口快速退火炉,分析了其高温计的校温方法。介绍了热电偶和...
关键词:高温计 快速退火炉 校温 
基于SU8020扫描电镜光学系统合轴研究被引量:1
《电子工业专用设备》2017年第1期14-18,共5页吴文涛 徐磊 王振亚 
详述了扫描电镜的工作原理,特点;SU8020扫描电镜基本结构和光学系统的详细构成,以及如何使SU8020扫描电镜更快,更好地进行光学系统的合轴调试,从而使SU8020扫描电镜处于最佳的工作状态。
关键词:扫描电镜 光学系统 合轴 
基于NBL电子束曝光系统合轴研究被引量:1
《电子工业专用设备》2016年第12期25-29,54,共6页吴文涛 王振亚 徐磊 
详述了电子束曝光系统的原理、种类、系统的构成和合轴的原理,以及如何使NBL(微纳投影)电子束曝光系统更好、更快地进行合轴,从而使NBL电子束曝光机处于最佳工作状态。
关键词:电子束 曝光系统 微纳投影(NBL) 合轴 
半导体专用设备的真空系统维修
《电子工业专用设备》2011年第9期18-20,45,共4页殷履文 刁振国 王振亚 
描述了真空设备在半导体行业中的运用,通过分析影响真空设备极限真空度的3个主要原因,讲述了真空设备检修方法及措施。
关键词:真空 测量  检漏 
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