半导体专用设备的真空系统维修  

Semiconductor Equipment's Service Of Vacuum System

作　　者：殷履文[1] 刁振国[1] 王振亚[1] 

机构地区：[1]中国电子科技集团公司第五十五研究所,江苏南京210016

出　　处：《电子工业专用设备》2011年第9期18-20,45,共4页Equipment for Electronic Products Manufacturing

摘　　要：描述了真空设备在半导体行业中的运用,通过分析影响真空设备极限真空度的3个主要原因,讲述了真空设备检修方法及措施。Described application of vacuum equipments in the semiconductor industry.Through analyzing three mainly causes of affecting the limit of equipment vacuum,it expatiates on the method to service vacuum equipment.

关 键 词：真空 测量 泵 检漏 

分 类 号：TN305[电子电信—物理电子学]