光栅及几何量精密测量  

作　　者：李汉军[1] 阮仲皋[1] 

机构地区：[1]徐州空军后勤学院

出　　处：《电子仪器仪表用户》1998年第6期46-47,共2页

摘　　要：１引言几何量的测量，包括长度（位移）测量和角度（角位移）测量。目前用于几何量测量的仪器，普遍存在精度较低、易受周围环境条件（如温度）的干扰，不能或不易实现计算机自动化测量等缺点，不能满足几何量精密测量领域的应用要求。２０世纪５０年代，人们开始利用光栅...

关 键 词：光栅 几何量 精密测量 传感器 

分 类 号：TH741[机械工程—光学工程]