铌镁酸钙/钛酸钙多层异质薄膜中的晶格失配与粗糙度累积  

MISMATCH AND ROUGHNESS CUMULATION IN Ca(Mg_(1/3)Nb_(2/3))O_3/CaTiO_3 MULTILAYER HETEROSTRUCTURE THIN FILMS

作　　者：沈杰[1] 周静[1,2] 雷琼[1] 欧刚[1] 陈文[1,2] 

机构地区：[1]武汉理工大学材料科学与工程学院,武汉430070 [2]武汉理工大学,材料复合新技术国家重点实验室,武汉430070

出　　处：《硅酸盐学报》2010年第1期7-11,共5页Journal of The Chinese Ceramic Society

基　　金：教育部科学技术研究重点项目(109111)资助

摘　　要：采用Pechini法制备Ca(Mg1/3Nb2/3)O3(CMN)及CaTiO3(CT)前驱体溶液,用液相旋涂技术按照一定的排布方式制备了总厚度相同而异质界面数不同的CMN/CT异质结构介电薄膜。研究表明:无论是CMN还是CT,其同质层间均会由于前一层的籽晶作用而产生粗糙度的累积,从而对其相结构、微观形貌和介电性能产生不利影响。异质层间的晶格失配可以消除这种粗糙度累积效应,改善薄膜的相结构和微观形貌。随着薄膜中异质界面数的增加,获得了结晶较好的单一钙钛矿结构异质薄膜,薄膜表面粗糙度降低,介电性能得到提高。The Ca（Mg1/3Nb2/3）O3（CMN） and CaTiO3（CT） precursor solutions were obtained by a Pechini method.CMN and CT heterostructure dielectric thin films were prepared by a spin-coating method in different arrangement patterns.The cumulative effect of roughness was observed in the CMN or the CT continual layers.This had a negative effect on the crystal structure,the surface morphology and the dielectric properties of the thin films.The lattic mismatch between the CMN and the CT layers could eliminate this nagetive effect.The introduction of the heterogeneous interface could improve the dielectric properties of the heterostructure thin films in terms of the phase structure and morphology.

关 键 词：铌镁酸钙/钛酸钙异质结构介电薄膜 晶格失配 粗糙度累积 异质界面 介电性能 

分 类 号：TB34[一般工业技术—材料科学与工程] O484.8[理学—固体物理]