强介陶瓷低压扫描电子显微术  

作　　者：阮世池[1] 

机构地区：[1]电子科技大学材料分析中心

出　　处：《电子显微学报》1998年第5期591-592,共2页Journal of Chinese Electron Microscopy Society

摘　　要：扫描电镜，从分辨能力的观点看，适当高的加速电压有高的分辨能力。然而，提高加速电压，有如下不可忽视的缺点：（１）样品表面微细结构信息被削弱或被遮盖；（２）明显的边缘效应；（３）导热性差的材料，在受电子束照射时易造成损伤；（４）对导电性差的样品，引起荷电...

关 键 词：扫描电镜 低加速电压 强介陶瓷 绝缘陶瓷 

分 类 号：TM281.014[一般工业技术—材料科学与工程]