上海微高精密机械工程有限公司提供用于高亮度照明LED的步进光刻机  

出　　处：《电子工业专用设备》2010年第1期55-55,共1页Equipment for Electronic Products Manufacturing

摘　　要：“作为新一轮高科技产业发展的焦点，被誉为全世界最有机会、最受追捧的产业。随着LED制造工艺技术的发展，特别是对于高性能LED照明芯片图形化衬底（PSS）而言，传统的接触式曝光模式已不能满足的要求。微高公司根据市场需求，对NIKON公司生产的i7系列机型进行了改造，改造后的设备具备全自动2英寸、3英寸晶片传输、曝光功能，

关 键 词：LED照明 步进光刻机 机械工程 高亮度 高精密 科技产业发展 NIKON公司 上海 

分 类 号：TN305.7[电子电信—物理电子学] TM923.01[电气工程—电力电子与电力传动]