步进光刻机

作品数：17被引量：26H指数：2
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SSB500系列步进投影光刻机
《中国集成电路》2012年第3期91-91,共1页
国家重点新产品：SSB500步进投影光刻机上海微电子装备有限公，d（SMEE）t耍致力于量产型Ic制造、先进封装、3D—TSV、MEMS、OLED—TFT制造等领域的投影光刻机系列产品的研发、制造及销售，公司目前拥有600系列IC前道扫描光刻机、500系...
关键词：投影光刻机 步进光刻机 IC制造 OLED 半导体设备 电子装备 MEMS 产品 
上海微高精密机械工程有限公司提供用于高亮度照明LED的步进光刻机
《电子工业专用设备》2010年第1期55-55,共1页
“作为新一轮高科技产业发展的焦点，被誉为全世界最有机会、最受追捧的产业。随着LED制造工艺技术的发展，特别是对于高性能LED照明芯片图形化衬底（PSS）而言，传统的接触式曝光模式已不能满足的要求。微高公司根据市场需求，对NIKON...
关键词：LED照明 步进光刻机 机械工程 高亮度 高精密 科技产业发展 NIKON公司 上海 
纳米焦点X射线管和纳米CT检测集成电路封装中的微型互联(英文)
《电子工业专用设备》2009年第5期51-54,共4页Zhenhui He Quan wen Xiaojie Huang 
IC封装中嵌入的微型电路连接可以通过纳米焦点X光光管技术和纳米焦点CT来检测;包括铜或金焊线、堆叠芯片、倒装焊接、微穿孔连接的封装形式。生动地描述了2维3维X射线影像技术,并且呈现了亚微米分辨率的各种分析结果和缺陷案例。
关键词：对准系统 步进光刻机 对准方式 对准模型 
Nikon光刻机对准系统概述及模型分析被引量：7
《电子工业专用设备》2009年第4期8-12,18,共6页何峰 吴志明 王军 袁凯 蒋亚东 李正贤 
对准系统是光刻机中最精密复杂的部分,掌握对准原理是设计和使用光刻机的关键之一。阐述Nikon步进投影光刻机(Stepper)的对准机制,详细介绍目前应用于Nikon步进光刻机硅片对准的三种对准方式:LSA、FIA、LIA,比较它们的优缺点。并结合数...
关键词：对准系统 步进光刻机 对准方式 对准模型 
芯片商茂德设备抵达重庆08年首季将投产
《中国集成电路》2008年第1期45-45,共1页
据报道，日前，芯片制造商茂德通过我国中国台湾地区“中华航空公司”的货机将台北新竹工厂的8英寸芯片生产设备空运至重庆的渝德工厂开始安装，预计该厂明年第一季度将投入生产。据悉，8英寸芯片生产设备包括步进光刻机（STEPPER）、...
关键词：芯片制造商 生产设备 重庆 投产 中国台湾地区 步进光刻机 航空公司 刻蚀设备 
第二代接近式X射线光刻技术被引量：2
《微细加工技术》2006年第1期1-6,共6页谢常青 
973项目资助(G200036504)
介绍了第二代PXL的原理和影响光刻分辨率的关键因素,当第二代PXL工艺因子为0.8时,对于50 nm及35 nm节点分辨率,掩模与硅片的间距可以分别达到10μm和5μm,表明第二代PXL具有很大的工艺宽容度;分析了纳米X射线掩模的具体结构、制作工艺...
关键词：第二代接近式X射线光刻 X射线 掩模 光刻胶 步进光刻机 光源 
硅片翘曲对光刻条宽均匀性的分析被引量：1
《半导体技术》2004年第11期26-28,共3页宋矿宝 章文红 赵亚东 范捷 
通过对硅片翘曲情况及AZ603-14cp正性光刻胶的测试,在步进光刻机的聚焦曝光原理基础上分析了硅片翘曲对条宽均匀性的影响。从而得到了在集成电路,尤其是小尺寸集成电路的制造中硅片平整度的重要性。
关键词：步进光刻机 条宽均匀性 景深 硅片翘曲 曝光场 正性光刻胶 
从光刻机市场变化看光刻技术的发展趋势
《中国集成电路》2004年第6期51-53,42,共4页莫大康 
在摩尔定律的指引下，全球半导体工业在2001—2008年期间，仍能以年平均增长10％的速率进步，尽管比以前的17％慢，这也反映出半导体工业中使用的基础硅材料正逼近其极限。不管如何，光刻技术总是半导体工业的“领头羊”。
关键词：光刻 步进光刻机 电子束制版 电子束直接写入 
步进光刻机中的成像线宽控制被引量：2
《电子工业专用设备》2001年第1期27-33,共7页周虎明 
线宽控制是光刻质量的关键。以 0 8～ 1 0 μmIC电路生产为依据 ,讨论光刻机特性影响成像线宽的因素以及使用中的最佳调整。
关键词：步进光刻机 线宽控制 线宽误差 半导体 
更小、更快、更廉价 芯片技术永无止境
《新电脑》2000年第12期176-179,共4页刘晓群 
如今，芯片的体积越来越小，速度越来越快，制造技术也越来越复杂。从使用直径为１５０毫米的硅图片到２００毫米、 ３００毫米甚至 ４５０毫米，从主要使用铝作为连接晶体管的材料到铜芯片的诞生，从光刻到Ｘ射线，新的芯片制造技术层...
关键词：芯片技术 高速处理器 时钟频率 AMD公司 西门子公司 步进光刻机 X射线 
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