SSB500系列步进投影光刻机  

出　　处：《中国集成电路》2012年第3期91-91,共1页China lntegrated Circuit

摘　　要：国家重点新产品：SSB500步进投影光刻机上海微电子装备有限公，d（SMEE）t耍致力于量产型Ic制造、先进封装、3D—TSV、MEMS、OLED—TFT制造等领域的投影光刻机系列产品的研发、制造及销售，公司目前拥有600系列IC前道扫描光刻机、500系列先进上寸装步进光刻机、300系列LED步进光刻机、200系列平饭显示投影光刻机以及半导体设备精密温度控川单元系列产品。

关 键 词：投影光刻机 步进光刻机 IC制造 OLED 半导体设备 电子装备 MEMS 产品 

分 类 号：TN305.7[电子电信—物理电子学]