气体微流量测量技术的发展  

Development of the gas microflow metrology

作　　者：张涤新[1] 赵澜[1] 成永军[1] 冯焱[1] 宋瑞海[1] 

机构地区：[1]兰州物理研究所,甘肃兰州730000

出　　处：《真空》2010年第1期1-6,共6页Vacuum

摘　　要：本文介绍了美国NIST、德国PTB、日本NMIJ、意大利IMGC、韩国KRISS、中国计量科学研究院NIM和国防科技工业真空一级计量站(兰州物理研究所LIP)的气体微流量测量技术的研究进展,并对其测量方法,测量装置性能指标进行了评述。The development of gas microflow metrology in American NIST, German PTB, Japanese NMIJ, Italian IMGC, Korean KRISS and Chinese NIM （National Institute of Metrology） and Primary Standard Laboratory of Vacuum of LIP are reviewed Their different calibration methods, applications and performance of their calibration systems are discussed.

关 键 词：气体微流量 气体微流量计 测量装置 

分 类 号：TB77[一般工业技术—真空技术]