气体微流量计

作品数：14被引量：46H指数：4
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限流元件流导测量技术研究进展被引量：2
《真空与低温》2017年第2期76-81,共6页张琦 李得天 杨长青 成永军 赵澜 吉康 孙健 
国家自然科学基金(61540043;61471184)
在真空技术应用中,限流元件流导主要用于气体微流量计微小气体流量的产生、提供真空室动态标准压力及真空漏孔的校准。目前测量限流元件流导的方法主要有恒压法、定容法、流量比较法、线性规法、升压法。文章介绍了国内外测量限流元件...
关键词：计量学 气体微流量计 限流元件流导 测量方法 
高精度气体微流量计工作用容积的测量被引量：6
《机床与液压》2011年第11期85-87,共3页赵澜 张涤新 冯焱 成永军 卢耀文 徐婕 
作为气体微流量标准的高精度气体微流量计主要用于气体微流量的测量,其中工作用容积值为气体微流量计的主要工作参数之一,因此气体微流量的测量精度也取决于工作用容积值的测量精度。比较称重法及静态膨胀法两种容积测量方法的优缺点,...
关键词：高精度气体微流量计 容积 静态膨胀法 测量不确定度 
虚拟仪器在气体微流量计测控系统中的应用被引量：1
《真空》2010年第5期68-71,共4页宋瑞海 成永军 赵澜 张涤新 
采用虚拟仪器技术开发了一个气体压力的自动测控系统,并用于高精度气体微流量计。本文详细介绍了高精度气体流量计压力系统的工作原理,及其压力测控系统的硬件组成和软件设计。系统的硬件部分使用台湾研华公司的PCI-1610采集卡和美国NI...
关键词：气体微流量计 压力 虚拟仪器 LABVIEW 
便携式气体微流量计的设计被引量：1
《真空》2010年第2期60-63,共4页李得天 冯焱 赵澜 张涤新 
为了实现在工作现场对氦质谱检漏仪进行全量程漏率示值的校准,设计了一套便携式气体微流量计。该流量计由供气与抽气系统、定容室与压力测量系统、流量测量系统和烘烤系统等四部分组成,采用固定流导法及定容法两种模式提供和测量流量。...
关键词：便携式 气体微流量计 固定流导法 定容法 漏率值校准 
气体微流量测量技术的发展被引量：4
《真空》2010年第1期1-6,共6页张涤新 赵澜 成永军 冯焱 宋瑞海 
本文介绍了美国NIST、德国PTB、日本NMIJ、意大利IMGC、韩国KRISS、中国计量科学研究院NIM和国防科技工业真空一级计量站(兰州物理研究所LIP)的气体微流量测量技术的研究进展,并对其测量方法,测量装置性能指标进行了评述。
关键词：气体微流量 气体微流量计 测量装置 
气体微流量计测量小孔流导方法研究被引量：7
《真空与低温》2009年第2期95-98,107,共5页冯焱 张涤新 李得天 成永军 卢耀文 赵澜 
介绍了利用气体微流量计的流量测量技术、采用PID和压力锯齿波动2种恒压控制模式测量小孔流导的原理和方法,并对2种控制模式的测量结果进行了比对,一致性好于0.14%。小孔流导的测量值与理论计算值之间有较大偏差,通过漏孔校准实验,证明...
关键词：气体微流量计 流导 测量方法 
高精度气体微流量计温度控制系统的研制
《真空》2009年第1期57-60,共4页宋瑞海 张涤新 成永军 赵澜 
采用虚拟仪器技术开发了一个温度的数据采集系统,并在高精度气体微流量计中得到的应用。详细介绍了系统的硬件组成和软件的设计。系统的硬件部分使用研华公司的PCI-1716多功能数据采集卡和ADAM3013热电阻变送模块,软件部分采用美国NI公...
关键词：气体微流量计 数据采集 温度 LABVIEW 
基于LabVIEW的气体压力测试系统
《液压与气动》2008年第12期28-31,共4页宋瑞海 张涤新 成永军 赵澜 
采用虚拟仪器技术开发了一个气体压力的自动测试系统,并用于航天项目气体微流量计中。该文详细介绍了系统的硬件组成和软件的设计。系统的硬件部分使用PCI-1610采集卡和IEEE-488数据采集卡,软件部分采用LabVIEW图形化编程语言创建,实现...
关键词：虚拟仪器 测试 压力 LABVIEW 气体微流量计 
恒压式气体微流量计测量不确定度评估被引量：1
《计测技术》2006年第3期46-48,共3页冯焱 成永军 张涤新 
介绍了恒压式气体微流量计的组成和校准原理。在对电容薄膜规做了热流逸效应实验的基础上,对流量计的测量不确定度进行了评估,给出了扩展不确定度和包含因子。通过传递标准漏孔与德国PTB开展了漏率比对,验证了测量不确定度评估结果的可...
关键词：恒压 气体微流量计 测量不确定度 评估 
恒压式气体微流量计的性能测试被引量：4
《真空科学与技术学报》2005年第3期217-221,共5页冯焱 成永军 赵定众 张涤新 李得天 
介绍了恒压式气体微流量计的组成及性能实验。实验结果表明,气体流量的测量范围为(2.96×10-9～4.76×10-4)Pa·m3/s,不确定度小于4%。标准漏孔的校准结果与德国PTB校准结果的一致性好于1.3%。
关键词：气体微流量计 性能评价 流量测量 流量标准 校准 
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