固定流导法

作品数：8被引量：84H指数：6
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一种下限为1.3×10^(-14)Pa·m^3/s的真空漏孔校准装置被引量：18
《真空科学与技术学报》2014年第5期504-509,共6页卢耀文 陈旭 李得天 齐京 刘波 闫睿 查良镇 
为了解决漏率小于10-12Pa·m3/s漏孔的校准问题,提出累积法与固定流导法相结合的方法,研制出下限可达10-14Pa·m3/s量级的校准装置。装置主要由累积比较系统和固定流导法流量计组成,采用四极质谱计作为比较器测量示漏He气离子流大小,通...
关键词：累积法 固定流导法 真空漏孔 漏率 
材料在真空环境下放气的测试技术研究被引量：25
《真空与低温》2014年第1期46-51,共6页董猛 冯焱 成永军 盛学民 赵澜 王永军 
在真空材料放气率测试装置上对金属材料的放气特性进行了实验研究,实验采用的方法为静态升压法、固定流导法、双通道气路转换法。实验结果表明,测试装置的极限真空度为9.2×10-9Pa,铜、铝合金2A12、304不锈钢三种材料半小时后的放气率...
关键词：材料放气率 双通道气路转换法 固定流导法 静态升压法 
极小气体流量测量技术研究被引量：17
《真空科学与技术学报》2011年第4期435-439,共5页李得天 冯焱 成永军 张涤新 郭美如 
介绍了固定流导法极小气体流量测量技术,利用流导值为10-9m3/s量级的精密小孔,通过在10-110 Pa范围内调节进气压力,实现了10-810-10Pa·m3/s的流量测量,合成标准不确定度为0.94%。利用流导比值为187.9的两个激光小孔,将固定流导法产生...
关键词：极小气体流量 固定流导法 分流法 漏率校准 
固定流导法真空漏孔校准装置性能研究被引量：2
《真空与低温》2011年第1期48-52,共5页刘波 丁立莉 
固定流导法是通过已知流导小孔的气体与真空漏孔流出的气体用四极质谱计进行比较,从而得到漏孔漏率的一种极为精确的方法。小孔是采用机械、激光等方法加工制成,在分子流条件下,小孔流导为一常数。运用此方法,建立了一套真空检漏校准装...
关键词：固定流导法 真空漏孔校准 不确定度分析 稳定性 重复性 
便携式气体微流量计的设计被引量：1
《真空》2010年第2期60-63,共4页李得天 冯焱 赵澜 张涤新 
为了实现在工作现场对氦质谱检漏仪进行全量程漏率示值的校准,设计了一套便携式气体微流量计。该流量计由供气与抽气系统、定容室与压力测量系统、流量测量系统和烘烤系统等四部分组成,采用固定流导法及定容法两种模式提供和测量流量。...
关键词：便携式 气体微流量计 固定流导法 定容法 漏率值校准 
固定流导法真空漏孔校准装置被引量：30
《真空科学与技术学报》2006年第5期358-362,共5页李得天 郭美如 葛敏 张周焕 王占忠 刘波 杨新民 
为了精确校准较小漏率真空漏孔,研制了固定流导法真空漏孔校准装置。在漏孔校准过程中,通过调节稳压室中的压力,很容易使标准气体流量与漏孔漏率非常接近或相等,从而避免四极质谱计的非线性影响。通过实验测试,校准装置的极限真空度为3....
关键词：真空漏孔 校准装置 固定流导法 四极质谱计 
固定流导法校准真空漏孔方法研究被引量：10
《真空与低温》2005年第4期197-204,共8页李得天 郭美如 冯焱 葛敏 张周焕 王占忠 刘波 杨新民 
固定流导法采用的是分压力测量技术,对质谱分析室的漏放气率的指标要求不高。通过实验得到四极质谱计的非线性引起的测量误差可达38%,在具体校准过程中能够很好调节稳压室中的气体压力,使通过小孔的气体流量与待校真空漏孔漏率非常接近...
关键词：固定流导法 真空漏孔校准 不确定度分析 
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