真空漏孔

作品数：21被引量：76H指数：6
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相关机构：兰州空间技术物理研究所中国科学院兰州物理研究所西安航天计量测试研究所清华大学更多>>
相关期刊：《宇航计测技术》《真空科学与技术学报》《真空与低温》《真空》更多>>
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毛细管型真空漏孔及其计量特性研究被引量：1
《真空与低温》2022年第6期713-719,共7页赵澜 成永军 孙雯君 曾翔 翁俊 董猛 陈联 管保国 张瑞芳 陈会颖 孙冬花 丁栋 冯天佑 李明 张旭 
中国空间技术研究院杰出青年人才(第三类)项目。
自主研制了毛细管型真空漏孔,介绍了其结构组成。对该漏孔的温度特性、年衰减率、重复性及稳定性进行了实验研究。结果表明,该漏孔的温度系数小于1.0%,年衰减率小于1.0%,重复性小于0.3%,采用氦质谱检漏仪实际使用12 h稳定性小于1.0%。...
关键词：毛细管型 真空漏孔 温度系数 年衰减率 重复性 稳定性 
微纳通道型真空漏孔研究进展被引量：1
《真空与低温》2020年第1期48-54,共7页林文豫 王旭迪 
国家自然科学基金面上项目(61574053、61871172)
传统真空漏孔存在难以实现尺寸可控制作、分子流压力范围有限等问题,而利用微纳通道型真空漏孔可以有效解决上述问题。本文阐述了一维/二维微纳通道型真空漏孔的加工方法,即使用光学曝光、刻蚀工艺在硅基底上制备微纳沟槽,结合键合技术...
关键词：真空漏孔 微纳通道 真空封装 分子流 
2019年《真空》杂志论文题录索引
《真空》2019年第6期87-88,共2页
关键词：真空离子镀膜 《真空》 真空漏孔 题录索引 杂志论文 
静态累积比较法真空漏孔校准方法研究被引量：2
《真空》2019年第3期44-47,共4页赵澜 成永军 孙雯君 陈联 冯天佑 吉康 
国家自然科学基金项目(61471184)
静态累积比较法校准真空漏孔是通过四极质谱计测量标准气体流量计与被校真空漏孔累积过程中离子流变化量而实现的。本文主要介绍了静态累积比较法真空漏孔的校准方法、装置原理、校准过程、校准结果的处理等,并提出了减小测量不确定度...
关键词：静态累积比较 真空漏孔 校准方法 
相对法校准真空漏孔及不确定度的评定被引量：2
《真空》2019年第2期66-68,共3页刘兴胜 解永蓉 郑颖 费渭南 
相对法校准真空漏孔是通过比较四极质谱计采集的电流值,根据已知标准漏孔漏率计算出被校真空漏孔漏率的一种方法。使用真空漏率校准装置,能方便的校准真空漏孔,且不确定度符合量值传递要求,满足了实际需要。主要介绍了相对法校准真空漏...
关键词：相对法 真空漏孔 校准原理 校准过程 不确定度 
分流法真空漏孔校准装置不确定度的评定被引量：1
《真空与低温》2018年第6期423-426,共4页查永康 赵澜 
分流法校准真空漏孔是通过四极质谱计比较气体流量计分流后的实用标准气体流量与被校真空标准漏孔产生的离子流获得校准值。主要介绍了分流法真空漏孔的校准方法、装置原理,对不确定度进行了分析,从气体流量计、分流比、四极质谱计等方...
关键词：分流法 真空漏孔 校准 不确定度 
不同气体和压力对真空漏孔漏率的影响被引量：5
《真空科学与技术学报》2017年第4期345-350,共6页钟博扬 王维 李芳芳 叶小球 陈长安 罗文华 
针对目前大多数标准漏孔的漏率都是在He和入口压力为100 kPa下的漏率,采用定容变压法校准了铭牌漏率为2.3×10^(-6)Pa·m^3/s的标准真空漏孔在使用H_2、He、D_2三种气体时,在不同入口压力下的漏率。预先对系统进行了加热除气后计算了系...
关键词：真空漏孔 漏率 校准 粘滞-分子流 
真空漏率校准装置的使用被引量：1
《计量技术》2017年第1期75-77,共3页刘兴胜 解永蓉 郑颖 
真空漏率校准装置主要用于校准真空计和真空漏孔。简述了真空漏率校准装置的工作原理，讨论了使用中应注意的六个方面。
关键词：真空漏率校准装置 工作原理 真空计 真空漏孔 
现场真空漏孔校准装置的设计被引量：2
《真空与低温》2014年第6期357-359,368,共4页赵澜 冯焱 成永军 张涤新 杨长青 张瑞芳 董猛 孙雯君 
为了减小现场环境与校准环境的差异对真空漏孔校准的影响，通过理论研究，设计了现场真空漏孔校准装置，可实现对真空漏孔的现场校准。考虑到现场真空漏孔校准装置需便于携带及搬运，装置的设计采用了分体式结构。现场真空漏孔校准装置...
关键词：校准装置 校准方法 真空漏孔 现场 
一种下限为1.3×10^(-14)Pa·m^3/s的真空漏孔校准装置被引量：18
《真空科学与技术学报》2014年第5期504-509,共6页卢耀文 陈旭 李得天 齐京 刘波 闫睿 查良镇 
为了解决漏率小于10-12Pa·m3/s漏孔的校准问题,提出累积法与固定流导法相结合的方法,研制出下限可达10-14Pa·m3/s量级的校准装置。装置主要由累积比较系统和固定流导法流量计组成,采用四极质谱计作为比较器测量示漏He气离子流大小,通...
关键词：累积法 固定流导法 真空漏孔 漏率 
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