真空漏率校准装置的使用  

作　　者：刘兴胜[1] 解永蓉[1] 郑颖[1] 

机构地区：[1]中国工程物理研究院电子工程研究所

出　　处：《计量技术》2017年第1期75-77,共3页Measurement Technique

摘　　要：真空漏率校准装置主要用于校准真空计和真空漏孔。简述了真空漏率校准装置的工作原理，讨论了使用中应注意的六个方面。

关 键 词：真空漏率校准装置 工作原理 真空计 真空漏孔 

分 类 号：TB77[一般工业技术—真空技术]