四极质谱计

作品数：85被引量：208H指数：8
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可实现大质量数检测的四极杆质谱计的关键参数设计及仿真研究
《真空科学与技术学报》2024年第12期1059-1066,共8页郭琦 韩琰 袁翠平 孙伟 孙立臣 孟冬辉 闫荣鑫 
随着中国科技的进步、技术的发展,特殊工程密闭环境内的气体成分需要精确检测,被检测对象除了小质量数(200 amu以内)气体成分之外,还包含重要的有机大质量数成分;气体成分最有效的检测仪器之一就是四极质谱计,中国质谱计研发单位大多数...
关键词：大质量数 四极质谱计 机电设计 仿真计算 气体分析 
宽量程四极质谱计研制及性能研究
《质谱学报》2023年第6期787-796,I0003,共11页冯天佑 成永军 陈联 董猛 王星辉 郭文 戎振华 孙雯君 
国家自然科学基金(61901203)。
基于四极质谱交变电场和静电场中离子运动轨迹对离子源、质量分析器和离子检测器的物理参数及几何结构尺寸进行设计,研制了宽量程四极质谱计,其物理部分核心质量为2.05 kg,体积为(315×145×60)mm^(3),仪器功耗为86 W,并对质谱计的质量...
关键词：四极质谱计 宽量程 灵敏度 分辨能力 稳定性 
基于四极质谱计质量歧视效应修正的材料CxHy放气率测试方法研究
《真空科学与技术学报》2023年第11期938-946,共9页王星辉 成永军 董猛 赵澜 陈联 冯天佑 孙雯君 
国家自然科学基金青年科学基金项目(61901203)。
材料的碳氢化合物分放气率直接关系到精密仪器的稳定性、可靠性及寿命,分放气率的测量通过四极质谱计(QMS)测量的真空分压力计算得到。然而,QMS存在的质量歧视效应导致了大质量数离子的测量灵敏度降低,从而影响碳氢化合物分放气率的测...
关键词：材料放气率 小孔流导法 四极质谱计 质量歧视效应 
CSNS漂移管泄漏检测被引量：1
《真空与低温》2022年第6期694-698,共5页刘顺明 王鹏程 宋洪 刘佳明 关玉慧 谭彪 孙晓阳 李波 吴小磊 
国家“十一五”重大科技基础设施建设项目((2008)2578)。
漂移管是中国散裂中子源(CSNS)直线加速器(DTL)的核心部件,整个DTL共有153个整漂移管和8个半漂移管提供纵向加速。采用氦质谱检漏仪和四极质谱计两种手段对12#漂移管进行研究,首先确定了漂移管外壳的漏点位置,然后通过线圈通电和打水压...
关键词：漂移管 氦质谱检漏仪 四极质谱计 泄漏 
大质量数四极质谱计技术研究被引量：1
《真空与低温》2022年第4期484-489,共6页陈联 冯天佑 王海斌 王星辉 邱云涛 郭文 赵澜 成永军 
中央引导地方科技发展资金项目(YDZX20216200003442)。
大质量数四极质谱计主要用于密闭有人环境中微量有毒、有害气体的检测。基于质量数范围1~1024 amu、绝对分辨本领1 amu的需求,进行了大质量数四极质谱计关键参数设计分析,完成了总体方案设计和测试分析。测试结果表明,该四极质谱计的质...
关键词：四极质谱计 质谱分析技术 微量气体检测 
QMS101四极质谱计物理部分研制及适用性分析被引量：1
《真空与低温》2022年第4期490-496,共7页冯天佑 陈联 王星辉 邱云涛 郭文 吴成耀 李玉成 成永军 
国家自然科学基金(61901203)。
针对四极质谱计国产化需求,研制QMS101型四极质谱计。该质谱计物理部分为90°离轴结构,采用轴向敞开式EI型离子源,四极杆长度203.2 mm,场半径4.157 mm,配备了法拉第板和微通道板型电子倍增器(MCP)两种检测器,其中电子倍增器90°离轴安装...
关键词：四极质谱计 90°离轴 微通道板 通用型分析器 
极小分压力校准研究
《真空与低温》2020年第1期61-66,共6页孙雯君 董猛 成永军 吴成耀 魏宁斐 
国家自然科学基金(61901203,61841106);甘肃省杰出青年基金(18JR3RA413);甘肃省科技成果重点推广计划项目(17ZD2WA001)
提出了静态膨胀法真空基础标准和动态流量法相结合的分压力校准方法,解决了10^-6 Pa以下极小分压力的校准难题。基于该方法研制了新一代极小分压力校准装置,在电子倍增器模式下,开展了单一气体进样四极质谱计灵敏度校准实验研究。研究...
关键词：极小分压力 灵敏度 四极质谱计 校准装置 校准方法 
TRIZ理论在真空热处理测量装置研究中的应用
《计测技术》2019年第1期14-19,共6页吴镇沅 
在真空热处理测量装置中,传统的四极质谱计由于结构缺陷存在残余气体检测不充分的问题,而标准真空计和被校真空计之间使用的T型三通同样由于结构问题存在真空度检测效率低的问题,导致大容量真空炉的真空度和残余气体测不准。文章从TRIZ...
关键词：真空热处理装置 球型校准室 四极质谱计 TRIZ理论 
空间行波管极高真空的获得与测量被引量：12
《真空》2018年第5期25-28,共4页刘燕文 孟宪展 田宏 李芬 石文奇 朱虹 谷兵 王小霞 
空间行波管广泛应用于雷达、卫星通信等方面,在器件制造过程中,真空是空间行波管工作的基础条件。利用极高真空排气设备获得了极限真空优于5×10^(-9)Pa的空间行波管;采用四级质谱计分析了空间行波管的排气过程和极限真空状态下的残气质...
关键词：空间行波管 极高真空 四极质谱计 残余气体 真空测量 
极紫外光刻机真空材料放气分率的单质谱测试方法研究被引量：4
《质谱学报》2018年第4期392-398,共7页罗艳 王魁波 吴晓斌 
极紫外光刻机关键技术研究项目(2012ZX02702)资助
水蒸气(H_2O)和碳氢化合物(C_xH_y)的放气分率是评价极紫外光刻机(EUVL)真空材料的重要参数。研究材料放气分率的传统方法一般需要2个完全相同的四极质谱计,这不仅大大增加了测试设备造价,而且会导致测试结果存在误差。为解决这一问题,...
关键词：极紫外光刻机(EUVL) 真空材料 放气分率 四极质谱计(QMS) 
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