王魁波

作品数：8被引量：29H指数：3
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发文主题：分压极紫外法兰真空紫外辐照更多>>
发文领域：一般工业技术自动化与计算机技术理学电子电信更多>>
发文期刊：《真空科学与技术学报》《真空与低温》《质谱学报》《分析测试技术与仪器》更多>>
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高精度四极质谱检测限测试和影响因素分析被引量：1
《分析测试技术与仪器》2019年第4期211-218,共8页罗艳 吴晓斌 王魁波 
国家科技重大专项(2012ZX02702001)资助
高精度四极质谱仪(QMS)的气体分压精确测量功能与其使用方法关系密切.采用包含有四极质谱仪、真空系统和进样系统的质谱参数测试装置,针对工作及系统参数对质谱测试结果的影响开展研究.试验结果表明:无论是扫描速率、质量数分辨率、电...
关键词：四极质谱仪 检测限 影响因素 最小可检浓度 
超高精度质谱检出限的测试技术研究
《真空科学与技术学报》2018年第11期938-943,共6页罗艳 王魁波 吴晓斌 王宇 
国家科技重大专项(2012ZX02702001)
检出限是评价四极质谱仪性能的重要指标,采用集成有高真空腔室、真空泵组、真空计、大气采样阀和待测四极质谱仪等的超高精度质谱检出限测试系统,针对四极质谱仪进行最小可检浓度和最小可检分压的测试技术研究。通过大气采样阀上的金属...
关键词：超高精度 四极质谱仪 最小可检浓度 最小可检分压 测试 
极紫外光刻机真空材料放气分率的单质谱测试方法研究被引量：4
《质谱学报》2018年第4期392-398,共7页罗艳 王魁波 吴晓斌 
极紫外光刻机关键技术研究项目(2012ZX02702)资助
水蒸气(H_2O)和碳氢化合物(C_xH_y)的放气分率是评价极紫外光刻机(EUVL)真空材料的重要参数。研究材料放气分率的传统方法一般需要2个完全相同的四极质谱计,这不仅大大增加了测试设备造价,而且会导致测试结果存在误差。为解决这一问题,...
关键词：极紫外光刻机(EUVL) 真空材料 放气分率 四极质谱计(QMS) 
基于四极质谱仪O形氟橡胶圈的放气研究被引量：2
《真空与低温》2016年第3期170-172,共3页代彦伟 肖梅 张晓兵 吴晓斌 王魁波 罗艳 
在真空系统中,接口之间的密封主要有金属与橡胶密封。橡胶属于弹性元件,是一种适应性很强的密封件,其广泛应用于真空系统中。实验研究了O形氟橡胶圈放气特性对痕量气体分析的影响,在利用超高真空封闭式离子源的四极质谱系统,对O形氟橡...
关键词：O形橡胶圈 痕量杂质气体 封闭式离子源 四极质谱仪 
导线在真空环境中的放气特性分析被引量：2
《真空与低温》2016年第2期100-103,共4页陈蕾 肖梅 张晓兵 杨玲玲 吴晓斌 王魁波 罗艳 
材料放气特性对分析真空中残余气体成分有重要影响。主要研究常用导线绝缘层聚全氟乙丙烯和可溶性聚四氟乙烯这两种材料在真空环境中的放气特性。采用小孔流导法初步测量了样品在常温、加热以及冷却条件下的放气率,利用四极质谱计测量...
关键词：导线 材料放气率 小孔流导法 四极质谱法 
高精度真空材料放气测试研究被引量：13
《真空科学与技术学报》2016年第3期251-257,共7页罗艳 王魁波 吴晓斌 王宇 
国家科技重大专项(2012ZX02702001)
材料放气率是评价真空材料性能的重要参数。高精度真空材料放气测试系统集成了定容升压法、小孔流导法和双通道转换法三种材料放气率测试方法。其独特的系统设计与加工并配备先进的泵阀计组件,使系统获得无污染清洁的超高真空,极限真空...
关键词：真空材料 放气率 测试方法 极限真空 放气组分 
聚合物的放气分率与放气模型研究被引量：8
《真空科学与技术学报》2015年第9期1100-1104,共5页罗艳 王魁波 张罗莎 吴晓斌 王宇 
在某些工程应用中,除了关注真空材料的总放气率之外,还需知道放出的单一气体的放气分率。本文采用定容升压法对三类聚合物样品进行放气率测试和放气组分分析;将四极质谱计和真空规对比校准修正所测的放气分压,得到水和碳氢化合物的放气...
关键词：材料放气 放气分率 放气模型 聚合物 
极紫外真空动态气体锁流场分析与研究被引量：4
《真空科学与技术学报》2015年第8期940-946,共7页陈进新 王魁波 王宇 
国家科技重大专项资助(2012ZX02702007)
满足极紫外(EUV)真空要求的动态气体锁是极紫外光刻机的重要部件。本文阐述了动态气体锁研究的必要性和国内外研究现状;首次提出动态气体锁效能评价机制,通过理论计算推导出动态气体锁抑制率公式;基于一种给定的动态气体锁结构模型,进...
关键词：极紫外光刻机 动态气体锁 稀薄气体流场 抑制率 
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