陈进新

作品数：8被引量：26H指数：3
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供职机构：中国科学院光电研究院更多>>
发文主题：分压极紫外法兰紫外辐照真空更多>>
发文领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程理学更多>>
发文期刊：《光学学报》《真空科学与技术学报》《激光与光电子学进展》《振动与冲击》更多>>
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极紫外光刻动态气体锁抑制率的实验研究被引量：2
《光学学报》2017年第2期209-219,共11页陈进新 王宇 谢婉露 
国家科技重大专项(2012ZX02702007)
开展了动态气体锁抑制率的实验研究,设计了一套极紫外真空动态气体锁实验验证系统;进行了真空抽气系统的详细设计,形成了具有实际可操作性的真空系统的最终布局;指出了该实验验证系统的验证方法;进行了动态气体锁实验,并对实验结果进行...
关键词：光学制造 X射线光学 极紫外光刻 动态气体锁 抑制率 
极紫外光刻动态气体锁抑制率的仿真研究被引量：1
《激光与光电子学进展》2017年第2期321-327,共7页陈进新 王宇 谢婉露 
国家科技重大专项(2012ZX02702007)
以清洁气体种类和流量以及污染气体放气率为变量,进行了单组分清洁气体的动态气体锁(DGL)流场仿真,并以混合清洁气体的体积比为变量进行了多组分清洁气体DGL流场仿真。仿真结果表明,DGL抑制率随清洁气体流量和分子量的增加而增加,但与...
关键词：X射线光学 极紫外光刻 动态气体锁 抑制率 
极紫外光刻动态气体锁抑制率的理论研究被引量：2
《激光与光电子学进展》2016年第5期315-323,共9页陈进新 王宇 谢婉露 
国家科技重大专项(2012ZX02702007)
从理论上系统性地研究了动态气体锁抑制率,提出了动态气体锁理论分析模型。通过理论分析推导出单组分和多组分清洁气体在等截面或者变截面条件下的动态气体锁抑制率解析表达式,并对单组分清洁气体在等截面和变截面条件下的动态气体锁抑...
关键词：X射线光学 极紫外光刻机 动态气体锁 抑制率 清洁气体 
极紫外真空动态气体锁流场分析与研究被引量：4
《真空科学与技术学报》2015年第8期940-946,共7页陈进新 王魁波 王宇 
国家科技重大专项资助(2012ZX02702007)
满足极紫外(EUV)真空要求的动态气体锁是极紫外光刻机的重要部件。本文阐述了动态气体锁研究的必要性和国内外研究现状;首次提出动态气体锁效能评价机制,通过理论计算推导出动态气体锁抑制率公式;基于一种给定的动态气体锁结构模型,进...
关键词：极紫外光刻机 动态气体锁 稀薄气体流场 抑制率 
极紫外辐照损伤测试系统光学仿真研究
《激光与光电子学进展》2015年第6期241-246,共6页陈进新 吴晓斌 王宇 
国家科技重大专项(2012ZX02702001)
为了科学地筛选极紫外光刻机所用的材料和工艺,需要建立极紫外辐照损伤测试系统、开展真空极紫外辐照下各种材料的损伤实验。极紫外辐照损伤测试系统主要包括极紫外光源、收集镜腔室和样品腔室。对极紫外辐照损伤测试系统进行了光学仿真...
关键词：光学制造 极紫外辐照损伤测试系统 光学仿真 椭球收集镜 像面 
ArF准分子激光光源电极系统设计及电场仿真研究被引量：3
《激光与光电子学进展》2014年第1期119-123,共5页陈进新 徐向宇 王宇 
国家重大科技专项
电极系统是ArF准分子激光光源的核心部件。首先通过对ArF准分子激光光源电极系统的初步设计,得到合适的放电区尺寸,提供了电极和预电离电极电压的加载方式,从而形成由阴极、阳极、预电离电极、陶瓷件和工作气体五部分组成的电极系统简...
关键词：激光器 ArF准分子激光器 电极系统 电场仿真 放电区域 加载电压 
一种可应用于小阻尼力领域的新型磁流变液阻尼器被引量：8
《振动与冲击》2009年第2期155-161,166,共8页陈进新 王宇 
在总结现有磁流变液阻尼器的结构形式和特点的基础上,提出一种可应用于地面小型机械结构或空间微重力环境下减振系统等小阻尼力领域的新型磁流变液阻尼器。对该新型磁流变液阻尼器进行结构设计、液体分析、磁路分析、力学分析、理论结...
关键词：磁流变液 新型磁流变液阻尼器 小阻尼力领域 力学分析 MATLAB仿真 
空间微重力磁悬浮平台激励器研究被引量：9
《空间科学学报》2008年第6期584-591,共8页陈进新 王宇 
为满足空间实验室的科学实验载荷对微重力环境水平的要求,需要保证空间微重力实验载荷平台的振动隔离性能,即需要平台激励器能在控制系统的作用下适时地产生抑制平台扰动的激励力.本文提出了平台激励器的初步指标,从磁悬浮基本原理出发...
关键词：磁悬浮平台 磁悬浮激励器 结构形式 有限元仿真 线圈设计 
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