王宇

作品数：22被引量：93H指数：7
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供职机构：中国科学院光电研究院更多>>
发文主题：抑制率X射线光学极紫外光刻超宽带真空更多>>
发文领域：电子电信机械工程理学航空宇航科学技术更多>>
发文期刊：《真空科学与技术学报》《激光与光电子学进展》《飞行器测控学报》《光学学报》更多>>
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极紫外光刻动态气体锁抑制率的实验研究被引量：2
《光学学报》2017年第2期209-219,共11页陈进新 王宇 谢婉露 
国家科技重大专项(2012ZX02702007)
开展了动态气体锁抑制率的实验研究,设计了一套极紫外真空动态气体锁实验验证系统;进行了真空抽气系统的详细设计,形成了具有实际可操作性的真空系统的最终布局;指出了该实验验证系统的验证方法;进行了动态气体锁实验,并对实验结果进行...
关键词：光学制造 X射线光学 极紫外光刻 动态气体锁 抑制率 
极紫外光刻动态气体锁抑制率的仿真研究被引量：1
《激光与光电子学进展》2017年第2期321-327,共7页陈进新 王宇 谢婉露 
国家科技重大专项(2012ZX02702007)
以清洁气体种类和流量以及污染气体放气率为变量,进行了单组分清洁气体的动态气体锁(DGL)流场仿真,并以混合清洁气体的体积比为变量进行了多组分清洁气体DGL流场仿真。仿真结果表明,DGL抑制率随清洁气体流量和分子量的增加而增加,但与...
关键词：X射线光学 极紫外光刻 动态气体锁 抑制率 
准分子激光与SiC陶瓷的相互作用研究被引量：5
《激光与光电子学进展》2016年第12期159-164,共6页罗艳 吴晓斌 周翊 王宇 
国家科技重大专项(2012ZX02702001)
采用准分子激光对SiC陶瓷表面进行了不同脉冲数、不同单脉冲能量和不同重复频率的辐照实验,获得了SiC陶瓷的辐照损伤二维和三维表面形貌,并分析了微观作用机制。结果表明,193nm准分子激光辐照SiC陶瓷时既产生光热作用又产生光化学作用,...
关键词：激光技术 辐照损伤 损伤机制 准分子激光 SIC陶瓷 
极紫外光刻动态气体锁抑制率的理论研究被引量：2
《激光与光电子学进展》2016年第5期315-323,共9页陈进新 王宇 谢婉露 
国家科技重大专项(2012ZX02702007)
从理论上系统性地研究了动态气体锁抑制率,提出了动态气体锁理论分析模型。通过理论分析推导出单组分和多组分清洁气体在等截面或者变截面条件下的动态气体锁抑制率解析表达式,并对单组分清洁气体在等截面和变截面条件下的动态气体锁抑...
关键词：X射线光学 极紫外光刻机 动态气体锁 抑制率 清洁气体 
高精度真空材料放气测试研究被引量：13
《真空科学与技术学报》2016年第3期251-257,共7页罗艳 王魁波 吴晓斌 王宇 
国家科技重大专项(2012ZX02702001)
材料放气率是评价真空材料性能的重要参数。高精度真空材料放气测试系统集成了定容升压法、小孔流导法和双通道转换法三种材料放气率测试方法。其独特的系统设计与加工并配备先进的泵阀计组件,使系统获得无污染清洁的超高真空,极限真空...
关键词：真空材料 放气率 测试方法 极限真空 放气组分 
聚合物的放气分率与放气模型研究被引量：8
《真空科学与技术学报》2015年第9期1100-1104,共5页罗艳 王魁波 张罗莎 吴晓斌 王宇 
在某些工程应用中,除了关注真空材料的总放气率之外,还需知道放出的单一气体的放气分率。本文采用定容升压法对三类聚合物样品进行放气率测试和放气组分分析;将四极质谱计和真空规对比校准修正所测的放气分压,得到水和碳氢化合物的放气...
关键词：材料放气 放气分率 放气模型 聚合物 
极紫外真空动态气体锁流场分析与研究被引量：4
《真空科学与技术学报》2015年第8期940-946,共7页陈进新 王魁波 王宇 
国家科技重大专项资助(2012ZX02702007)
满足极紫外(EUV)真空要求的动态气体锁是极紫外光刻机的重要部件。本文阐述了动态气体锁研究的必要性和国内外研究现状;首次提出动态气体锁效能评价机制,通过理论计算推导出动态气体锁抑制率公式;基于一种给定的动态气体锁结构模型,进...
关键词：极紫外光刻机 动态气体锁 稀薄气体流场 抑制率 
极紫外辐照损伤测试系统光学仿真研究
《激光与光电子学进展》2015年第6期241-246,共6页陈进新 吴晓斌 王宇 
国家科技重大专项(2012ZX02702001)
为了科学地筛选极紫外光刻机所用的材料和工艺,需要建立极紫外辐照损伤测试系统、开展真空极紫外辐照下各种材料的损伤实验。极紫外辐照损伤测试系统主要包括极紫外光源、收集镜腔室和样品腔室。对极紫外辐照损伤测试系统进行了光学仿真...
关键词：光学制造 极紫外辐照损伤测试系统 光学仿真 椭球收集镜 像面 
ArF准分子激光光源电极系统设计及电场仿真研究被引量：3
《激光与光电子学进展》2014年第1期119-123,共5页陈进新 徐向宇 王宇 
国家重大科技专项
电极系统是ArF准分子激光光源的核心部件。首先通过对ArF准分子激光光源电极系统的初步设计,得到合适的放电区尺寸,提供了电极和预电离电极电压的加载方式,从而形成由阴极、阳极、预电离电极、陶瓷件和工作气体五部分组成的电极系统简...
关键词：激光器 ArF准分子激光器 电极系统 电场仿真 放电区域 加载电压 
近期光刻用ArF准分子激光技术发展被引量：9
《量子电子学报》2010年第5期522-527,共6页游利兵 周翊 梁勖 余吟山 方晓东 王宇 
193 nm ArF准分子激光光刻技术已广泛应用于90 nm以下节点半导体量产。分析了近期发展用于改进准分子激光性能的关键技术:主振-功率再生放大(MOPRA)结构,主振-功率振荡(MOPO)结构,主动光谱带宽稳定技术,先进的气体管理技术。对光刻用准...
关键词：激光技术 ArF准分子激光 光刻 双图形 
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