周翊

作品数：23被引量：72H指数：5
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发文主题：准分子激光器分子激光器激光器激光放电区更多>>
发文领域：电子电信机械工程理学自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《当代经济》《科学技术与工程》《科技和产业》《管理观察》更多>>
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氟化钙晶体深紫外激光辐照损伤特性研究进展被引量：7
《激光与光电子学进展》2019年第19期18-27,共10页宗慧雯 赵江山 宋兴亮 郭馨 王倩 李慧 周翊 
国家重大科技专项(2013ZX02202)
半导体光刻技术带动着光源逐步向短波辐射方向发展,以KrF-248nm、ArF-193nm光源为代表的准分子激光光刻光源逐步取代了以往基于汞灯的光刻光源,成为当前半导体光刻技术发展的主流光源。目前应用于光刻光源的光学元件主要以在深紫外波段...
关键词：激光光学 准分子激光 氟化钙 激光损伤 损伤阈值 
光刻设备知识产权战略研究被引量：2
《科技和产业》2019年第2期106-112,共7页张立佳 齐月静 张理垟 李国和 郭馨 李慧 崔惠绒 周翊 
国家科技重大专项02专项(2013ZX02202)
我国高端集成电路(IC)产业严重受限于落后的光刻制造装备技术和产业,2016年进口约2 271亿美元,制约了我国电子信息产业的升级,成为重大的国家安全隐患。习近平主席说"实践反复告诉我们,关键核心技术是要不来、买不来、讨不来的",2008年...
关键词：光刻设备 知识产权 战略 
用于光谱控制的棱镜扩束装置精密装调特性分析被引量：1
《中国激光》2018年第4期99-103,共5页王倩 赵江山 周翊 
国家科技重大专项(2013ZX02202)
线宽压窄模块是光刻用准分子激光器的重要组成部分。线宽压窄模块中棱镜组及光栅的装配角度直接影响系统输出特性。为了进一步改进准分子激光器线宽压窄模块工程化安装与调试工艺,研究了棱镜扩束器中棱镜角度偏差对系统线宽及能量的影...
关键词：激光器 准分子激光器 窄线宽 棱镜扩束器 装调误差 
知识产权制度在创新活动中的保障和支撑作用被引量：2
《管理观察》2018年第4期70-72,共3页张立佳 齐月静 崔惠绒 张理垟 李慧 周翊 张晓敏 
国家科技重大专项02专项(编号:2013ZX02202)
习近平同志在十九大报告中指出,创新是引领发展的第一动力,是建设现代化经济体系的战略支撑。而实现创新和发展,知识产权制度是重要的保障和支撑。本文通过参与国家科研项目知识产权布局和实施,提出科研项目从立项、实施、验收、成果应...
关键词：科技创新 知识产权 全过程管理 激励创新 
ArF准分子激光系统的能量效率特性被引量：2
《物理学报》2016年第21期153-160,共8页王倩 赵江山 罗时文 左都罗 周翊 
中国科学院光电研究院创新基金(批准号:Y50B16A12Y);国家科技重大专项(批准号:2013ZX02202)资助的课题~~
为深入理解ArF准分子激光系统的运转机制,进而获得优化ArF准分子激光系统设计的理论及方向性指导,利用一维流体模型,以气体高压放电等离子体深紫外激光辐射过程为主要对象,研究了放电抽运ArF准分子激光系统的动力学特性,梳理了ArF准分...
关键词：ArF准分子激光 能量效率 流体模型 电子密度 
一种基于零电压开关的脉冲调制等离子体激发系统的研究被引量：1
《科学技术与工程》2016年第22期64-68,共5页张鑫 曹沛 马英麒 周翊 徐向宇 
设计实现了一种利用占空比和频率可调节的高电压脉冲调制技术激发大气压等离子体射流的装置;该装置基于蓄电池供电,采用自激式零电压开关技术来产生高频高压正弦波输出;然后利用频率及占空比调节方式实现对等离子体激发的有效控制。射...
关键词：零电压开关 高电压脉冲调制 大气压等离子体射流 发射光谱 
光刻用准分子激光器中心波长在线测量研究被引量：1
《光电子．激光》2016年第7期699-703,共5页高斐 赵江山 王倩 刘广义 白路军 周翊 孟庆宾 
国家自然科学基金(61405202);中国科学院光电研究院创新(Y50B17A12Y)资助项目
实现了一种准分子激光光刻光源中心波长的实时测量方法。基于法布里珀罗（F-P）标准具与中阶梯光栅的相关测量装置,通过对F-P标准具的干涉条纹和光栅衍射条纹的分析,实现了对光刻光源输出激光中心波长的在线有效测量。整个测量装置体积...
关键词：准分子激光器 光刻 中心波长 在线测量 
准分子激光与SiC陶瓷的相互作用研究被引量：5
《激光与光电子学进展》2016年第12期159-164,共6页罗艳 吴晓斌 周翊 王宇 
国家科技重大专项(2012ZX02702001)
采用准分子激光对SiC陶瓷表面进行了不同脉冲数、不同单脉冲能量和不同重复频率的辐照实验,获得了SiC陶瓷的辐照损伤二维和三维表面形貌,并分析了微观作用机制。结果表明,193nm准分子激光辐照SiC陶瓷时既产生光热作用又产生光化学作用,...
关键词：激光技术 辐照损伤 损伤机制 准分子激光 SIC陶瓷 
高效率ArF准分子激光复合腔技术研究被引量：5
《中国激光》2016年第2期1-6,共6页范元媛 周翊 刘广义 宋兴亮 单耀莹 王倩 赵江山 
国家自然科学基金(61405202);北京市科技专项(Z141104004414069)
短波长、高光子能量的Ar F准分子激光在集成电路光刻、材料加工、激光医学等领域具有重要的应用。结合线宽压窄技术方案设计了193 nm Ar F准分子激光器复合腔结构,理论分析了复合腔结构能量提升的原理。针对准分子激光器的长腔特性,提...
关键词：激光器 准分子激光器 复合腔 高效率 窄线宽 
准分子激光器温度控制系统设计被引量：6
《量子电子学报》2015年第4期431-437,共7页胡明庆 韩晓泉 周翊 冯泽斌 周维虎 白路军 
国家科技重大专项(2013ZX02202)
设计了一种应用于准分子激光器的高精度温度控制系统,可对准分子激光器放电腔的温度进行实时采集、显示、控制,达到维持激光器腔体温度恒定的目的,从而改善激光器的工作性能如能量稳定性和使用寿命等。系统采用飞思卡尔单片机,以比例阀...
关键词：激光技术 温度控制 智能PID 准分子激光器 算法 
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