刘广义

作品数：7被引量：21H指数：3
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供职机构：中国科学院光电研究院更多>>
发文主题：准分子激光器波像差掩模板调焦投影物镜更多>>
发文领域：电子电信机械工程理学自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《红外与激光工程》《中国激光》《测试技术学报》《自动化应用》更多>>
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基于准分子激光绝对波长校准的寻峰算法研究被引量：8
《中国激光》2018年第7期13-19,共7页袁靖超 赵江山 李慧 刘广义 
国家重大科技专项(2009ZX02206-01)
准分子激光绝对波长校准技术中,参考中心波长位置抖动是影响校准精度的主要因素,寻峰算法是解决这类问题的有效途径。通过仿真和实验研究比较了5种寻峰算法,结果显示,高斯非线性曲线拟合寻峰法误差最小,算法平均误差为0.15 pm。通过研...
关键词：光谱学 准分子激光器 绝对波长校准 寻峰算法 高斯非线性曲线拟合 
光刻用准分子激光器中心波长在线测量研究被引量：1
《光电子．激光》2016年第7期699-703,共5页高斐 赵江山 王倩 刘广义 白路军 周翊 孟庆宾 
国家自然科学基金(61405202);中国科学院光电研究院创新(Y50B17A12Y)资助项目
实现了一种准分子激光光刻光源中心波长的实时测量方法。基于法布里珀罗（F-P）标准具与中阶梯光栅的相关测量装置,通过对F-P标准具的干涉条纹和光栅衍射条纹的分析,实现了对光刻光源输出激光中心波长的在线有效测量。整个测量装置体积...
关键词：准分子激光器 光刻 中心波长 在线测量 
高效率ArF准分子激光复合腔技术研究被引量：5
《中国激光》2016年第2期1-6,共6页范元媛 周翊 刘广义 宋兴亮 单耀莹 王倩 赵江山 
国家自然科学基金(61405202);北京市科技专项(Z141104004414069)
短波长、高光子能量的Ar F准分子激光在集成电路光刻、材料加工、激光医学等领域具有重要的应用。结合线宽压窄技术方案设计了193 nm Ar F准分子激光器复合腔结构,理论分析了复合腔结构能量提升的原理。针对准分子激光器的长腔特性,提...
关键词：激光器 准分子激光器 复合腔 高效率 窄线宽 
高能窄带激光系统中光谱纯度检测的实验研究被引量：3
《激光与光电子学进展》2015年第7期274-277,共4页吴月婷 范元媛 刘广义 周翊 
国家自然科学基金(61405202);北京市科技专项(Z141104004414069)
针对高能窄带激光系统对光谱纯度检测的需求,提出通过精确测量激光光谱能量分布情况分析光谱纯度的方法,并进行了相关实验研究。该光谱纯度检测装置主要由中阶梯光栅、精密移动刀口、灵敏功率计等组成,实验利用该装置分析了复合腔结构...
关键词：光谱学 光谱能量分布 刀口 复合腔 双腔结构 
基于LABVIEW的CMOS相机图像采集系统设计被引量：4
《自动化应用》2014年第3期15-16,38,共3页郭漭 祝连庆 韩晓泉 刘广义 冯泽斌 张清洋 
02专项-投影曝光光学系统参数检测(2009zx02205-007)
应用 LABVIEW 的视觉运动模块和调用库函数节点,设计一个实时显示控制的 CMOS 相机系统,其具有操作简单、扩展性强的特点。
关键词：LABVIEW CMOS相机 实时显控 DLL 
基于LABVIEW的调焦控制系统研究
《测试技术学报》2013年第2期125-129,共5页宋珂 刘广义 韩晓泉 
开发了数字控制系统以实现对调焦系统的闭环控制,并对调焦精度做出分析,得出了实验考察环境因素对调焦精度的影响;搭建了一套调焦系统,分析调焦原理得出系统控制模型.利用LABVIEW开发了数字PID控制系统,结合统计学原理对实验数据做出分...
关键词：调焦系统 闭环控制 重复精度 环境因素 
基于迈克尔逊腔光纤激光相干合成的输出特性
《红外与激光工程》2013年第1期73-78,共6页王倩 宋兴亮 刘广义 范元媛 崔惠绒 鲍洋 周翊 
企业委托项目(Y1804A01N)
基于自组织相干合成原理,利用迈克耳逊腔开展了光纤激光阵列相干合成的原理实验研究,实现了掺Yb3+双包层光纤激光阵列的相位锁定。根据其原理,合理解释了相应的物理现象以及迈克尔逊腔相比于其他腔型的优势。重点理论模拟并实验验证了...
关键词：相干合成 迈克耳逊腔 输出功率 光纤光学 
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