单耀莹

作品数：4被引量：15H指数：3
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发文主题：准分子激光器气体激光器线宽激光功率放大更多>>
发文领域：电子电信轻工技术与工程经济管理更多>>
发文期刊：《红外与激光工程》《中国激光》《中国科学院院刊》更多>>
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全球生物制造产业关键平台设施建设现状分析与思考
《中国科学院院刊》2025年第1期116-126,共11页吴晓燕 陈方 单耀莹 陆安静 
中国科学院关键核心技术攻坚先导专项(C类)(XDC0110305);中国科学院文献情报能力建设专项(E4290425)。
生物制造作为一种新兴的生产方式,逐渐成为全球经济发展的重要趋势,受到各国的高度重视。平台设施在生物制造产业的发展中扮演着关键角色,不仅是技术创新的基石,也是将科研成果转化为实际生产和市场应用的重要支撑。文章深入调研并分析...
关键词：生物制造 生物产业 基础设施 中试平台 孵化平台 
高效率ArF准分子激光复合腔技术研究被引量：5
《中国激光》2016年第2期1-6,共6页范元媛 周翊 刘广义 宋兴亮 单耀莹 王倩 赵江山 
国家自然科学基金(61405202);北京市科技专项(Z141104004414069)
短波长、高光子能量的Ar F准分子激光在集成电路光刻、材料加工、激光医学等领域具有重要的应用。结合线宽压窄技术方案设计了193 nm Ar F准分子激光器复合腔结构,理论分析了复合腔结构能量提升的原理。针对准分子激光器的长腔特性,提...
关键词：激光器 准分子激光器 复合腔 高效率 窄线宽 
光刻用准分子激光器能量稳定性影响因素分析(英文)被引量：4
《红外与激光工程》2014年第11期3540-3546,共7页石海燕 赵江山 宋兴亮 沙鹏飞 单耀莹 王倩 翟晔 周翊 
国家重大科技专项(2012zx02701001-010)
以Cymer公司为例归纳总结了ArF准分子激光器双腔放大结构及相应的脉冲能量稳定性的发展历程,讨论了双腔能量放大机制对脉冲能量稳定性的影响,重点分析了MOPRA结构较MOPA结构在能量稳定性方面的优缺点。着重阐述了放电腔内工作气体成分...
关键词：放大机制 准分子激光器 脉冲能量稳定性 气体成分 
熔融石英棱镜在准分子激光光谱控制系统中的应用研究被引量：7
《中国激光》2013年第4期43-47,共5页单耀莹 赵江山 李慧 王倩 沙鹏飞 周翊 周军 袁志军 张海波 楼祺洪 
国家重大科技专项(2009ZX02306-02)资助课题
针对准分子激光器的相关应用,对准分子激光进行光谱控制是非常必要的。相关光谱控制主要包括激光线宽窄化及激光中心波长的稳定输出,常用的线宽压窄方式是利用扩束棱镜组结合光栅构成线宽压窄模块达到激光线宽窄化的效果。利用熔融石英(...
关键词：激光器 准分子激光器 线宽压窄 棱镜 熔融石英 CAF2 
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