赵江山

作品数：9被引量：36H指数：4
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发文主题：准分子激光器激光器激光气体激光器分子激光器更多>>
发文领域：电子电信理学机械工程轻工技术与工程更多>>
发文期刊：《中国激光》《物理学报》《红外与激光工程》《光电子．激光》更多>>
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氟化钙晶体深紫外激光辐照损伤特性研究进展被引量：7
《激光与光电子学进展》2019年第19期18-27,共10页宗慧雯 赵江山 宋兴亮 郭馨 王倩 李慧 周翊 
国家重大科技专项(2013ZX02202)
半导体光刻技术带动着光源逐步向短波辐射方向发展,以KrF-248nm、ArF-193nm光源为代表的准分子激光光刻光源逐步取代了以往基于汞灯的光刻光源,成为当前半导体光刻技术发展的主流光源。目前应用于光刻光源的光学元件主要以在深紫外波段...
关键词：激光光学 准分子激光 氟化钙 激光损伤 损伤阈值 
基于准分子激光绝对波长校准的寻峰算法研究被引量：8
《中国激光》2018年第7期13-19,共7页袁靖超 赵江山 李慧 刘广义 
国家重大科技专项(2009ZX02206-01)
准分子激光绝对波长校准技术中,参考中心波长位置抖动是影响校准精度的主要因素,寻峰算法是解决这类问题的有效途径。通过仿真和实验研究比较了5种寻峰算法,结果显示,高斯非线性曲线拟合寻峰法误差最小,算法平均误差为0.15 pm。通过研...
关键词：光谱学 准分子激光器 绝对波长校准 寻峰算法 高斯非线性曲线拟合 
用于光谱控制的棱镜扩束装置精密装调特性分析被引量：1
《中国激光》2018年第4期99-103,共5页王倩 赵江山 周翊 
国家科技重大专项(2013ZX02202)
线宽压窄模块是光刻用准分子激光器的重要组成部分。线宽压窄模块中棱镜组及光栅的装配角度直接影响系统输出特性。为了进一步改进准分子激光器线宽压窄模块工程化安装与调试工艺,研究了棱镜扩束器中棱镜角度偏差对系统线宽及能量的影...
关键词：激光器 准分子激光器 窄线宽 棱镜扩束器 装调误差 
ArF准分子激光系统的能量效率特性被引量：2
《物理学报》2016年第21期153-160,共8页王倩 赵江山 罗时文 左都罗 周翊 
中国科学院光电研究院创新基金(批准号:Y50B16A12Y);国家科技重大专项(批准号:2013ZX02202)资助的课题~~
为深入理解ArF准分子激光系统的运转机制,进而获得优化ArF准分子激光系统设计的理论及方向性指导,利用一维流体模型,以气体高压放电等离子体深紫外激光辐射过程为主要对象,研究了放电抽运ArF准分子激光系统的动力学特性,梳理了ArF准分...
关键词：ArF准分子激光 能量效率 流体模型 电子密度 
光刻用准分子激光器中心波长在线测量研究被引量：1
《光电子．激光》2016年第7期699-703,共5页高斐 赵江山 王倩 刘广义 白路军 周翊 孟庆宾 
国家自然科学基金(61405202);中国科学院光电研究院创新(Y50B17A12Y)资助项目
实现了一种准分子激光光刻光源中心波长的实时测量方法。基于法布里珀罗（F-P）标准具与中阶梯光栅的相关测量装置,通过对F-P标准具的干涉条纹和光栅衍射条纹的分析,实现了对光刻光源输出激光中心波长的在线有效测量。整个测量装置体积...
关键词：准分子激光器 光刻 中心波长 在线测量 
高效率ArF准分子激光复合腔技术研究被引量：5
《中国激光》2016年第2期1-6,共6页范元媛 周翊 刘广义 宋兴亮 单耀莹 王倩 赵江山 
国家自然科学基金(61405202);北京市科技专项(Z141104004414069)
短波长、高光子能量的Ar F准分子激光在集成电路光刻、材料加工、激光医学等领域具有重要的应用。结合线宽压窄技术方案设计了193 nm Ar F准分子激光器复合腔结构,理论分析了复合腔结构能量提升的原理。针对准分子激光器的长腔特性,提...
关键词：激光器 准分子激光器 复合腔 高效率 窄线宽 
光刻用准分子激光器能量稳定性影响因素分析(英文)被引量：4
《红外与激光工程》2014年第11期3540-3546,共7页石海燕 赵江山 宋兴亮 沙鹏飞 单耀莹 王倩 翟晔 周翊 
国家重大科技专项(2012zx02701001-010)
以Cymer公司为例归纳总结了ArF准分子激光器双腔放大结构及相应的脉冲能量稳定性的发展历程,讨论了双腔能量放大机制对脉冲能量稳定性的影响,重点分析了MOPRA结构较MOPA结构在能量稳定性方面的优缺点。着重阐述了放电腔内工作气体成分...
关键词：放大机制 准分子激光器 脉冲能量稳定性 气体成分 
熔融石英棱镜在准分子激光光谱控制系统中的应用研究被引量：7
《中国激光》2013年第4期43-47,共5页单耀莹 赵江山 李慧 王倩 沙鹏飞 周翊 周军 袁志军 张海波 楼祺洪 
国家重大科技专项(2009ZX02306-02)资助课题
针对准分子激光器的相关应用,对准分子激光进行光谱控制是非常必要的。相关光谱控制主要包括激光线宽窄化及激光中心波长的稳定输出,常用的线宽压窄方式是利用扩束棱镜组结合光栅构成线宽压窄模块达到激光线宽窄化的效果。利用熔融石英(...
关键词：激光器 准分子激光器 线宽压窄 棱镜 熔融石英 CAF2 
周期极化钽酸锂晶体腔内倍频实验研究被引量：4
《中国激光》2009年第11期2808-2811,共4页林嵩 赵江山 周翊 
报道了基于准相位匹配(QPM)应用的周期性极化钽酸锂(PPSLT)晶体进行腔内倍频非线性光学变换实验研究。分析比对了不同长度(3.5mm,5mm,10mm)晶体倍频过程。利用3.5mmPPSLT晶体在2500mW808nm激光抽运下产生1445mW1064nm基频光输出,经过倍...
关键词：非线性光学 准相位匹配 周期极化钽酸锂晶体 腔内倍频 
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