张清洋

作品数：2被引量：9H指数：2
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高精度像差检测运动控制及图像采集系统设计被引量：5
《国外电子测量技术》2017年第6期108-111,120,共5页夏舒仪 李兵 张清洋 韩晓泉 
投影物镜是光刻机的重要组成部分,直接影响光刻技术指标,因此投影物镜波像差是光刻机中关键的检测指标之一。横向剪切干涉是重要的波像差检测方法,根据横向剪切原理,设计了高精度运动控制及图像采集系统以检测光刻机投影物镜波像差是否...
关键词：横向剪切干涉 波像差 CMOS图像探测器 位移台 
基于LABVIEW的CMOS相机图像采集系统设计被引量：4
《自动化应用》2014年第3期15-16,38,共3页郭漭 祝连庆 韩晓泉 刘广义 冯泽斌 张清洋 
02专项-投影曝光光学系统参数检测(2009zx02205-007)
应用 LABVIEW 的视觉运动模块和调用库函数节点,设计一个实时显示控制的 CMOS 相机系统,其具有操作简单、扩展性强的特点。
关键词：LABVIEW CMOS相机 实时显控 DLL 
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