齐月静

作品数：14被引量：36H指数：4
导出分析报告
供职机构：中国科学院光电研究院更多>>
发文主题：波像差哈特曼波前传感器投影物镜光学系统准直物镜更多>>
发文领域：机械工程理学电子电信自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《技术与创新管理》《光学学报》《北京理工大学学报》《半导体光电》更多>>
所获基金：国家科技重大专项国家部委预研基金北京市科委科技计划项目武器装备预研基金更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-10
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
光刻设备知识产权战略研究被引量：2
《科技和产业》2019年第2期106-112,共7页张立佳 齐月静 张理垟 李国和 郭馨 李慧 崔惠绒 周翊 
国家科技重大专项02专项(2013ZX02202)
我国高端集成电路(IC)产业严重受限于落后的光刻制造装备技术和产业,2016年进口约2 271亿美元,制约了我国电子信息产业的升级,成为重大的国家安全隐患。习近平主席说"实践反复告诉我们,关键核心技术是要不来、买不来、讨不来的",2008年...
关键词：光刻设备 知识产权 战略 
基于SiC基光电传感器的局部放电探测系统设计被引量：4
《半导体光电》2018年第5期712-715,721,共5页庄函 齐月静 李兵 刘一祎 
北京市科委计划项目(Z161100002116015)
针对高压电力设备局部放电的监测需求,结合放电光谱的紫外波段分布特征,提出一种基于SiC基光电传感器的放电监测方法,并进行了系统设计,重点给出模拟电路模块、以FPGA为核心的数字电路模块和识别定位软件的设计思路和方法。通过实验测试...
关键词：局部放电 SiC基光电传感器 方位识别 
知识产权制度在创新活动中的保障和支撑作用被引量：2
《管理观察》2018年第4期70-72,共3页张立佳 齐月静 崔惠绒 张理垟 李慧 周翊 张晓敏 
国家科技重大专项02专项(编号:2013ZX02202)
习近平同志在十九大报告中指出,创新是引领发展的第一动力,是建设现代化经济体系的战略支撑。而实现创新和发展,知识产权制度是重要的保障和支撑。本文通过参与国家科研项目知识产权布局和实施,提出科研项目从立项、实施、验收、成果应...
关键词：科技创新 知识产权 全过程管理 激励创新 
环境温度变化对夏克-哈特曼波前传感器测量精度影响分析被引量：5
《中国激光》2016年第8期248-255,共8页孟庆宾 齐月静 卢增雄 苏佳妮 高斐 
国家科技重大专项(2009ZX02206)
环境温度变化是影响夏克一哈特曼波前传感器（SHWS）测量精度的重要因素之一。采用Zemax软件热分析功能，分析了环境温度变化引起的微透镜阵列（MLA）变形及折射率变化、MLA和电荷耦合器件（CCD）间距变化以及球面波点源与SHWS间距变化...
关键词：测量 夏克-哈特曼波前传感器 环境温度 测量精度 
纳米精度波像差检测随机点源阵列照明优化分析被引量：1
《光学学报》2015年第6期159-166,共8页卢增雄 齐月静 齐威 苏佳妮 彭卓君 
中国科学院光电研究院创新项目(Y40B06A12Y)
在基于夏克-哈特曼波前传感器的深紫外物镜系统波像差检测中,均匀高亮度的照明光束是实现纳米精度波像差检测的关键。采用时域有限差分法和部分相干性理论对随机排列微孔阵列衍射波前的强度对比度进行了优化。与周期排列微孔阵列相比,...
关键词：测量 部分相干性理论 微孔阵列 随机排列 强度对比度 
照明物镜数值孔径对微孔衍射波前质量影响分析被引量：2
《中国激光》2015年第2期222-229,共8页齐月静 卢增雄 杨光华 刘成涛 彭卓君 
国家科技重大专项(2009ZX02206)
通过微孔衍射产生高质量的球面波是进行夏克一哈特曼波前传感器（SHWS）高精度标定的关键。采用时域有限差分（FDTD）法，进行了193nm准分子激光照明下有限厚度有限电导率微孔的衍射仿真计算，分析了照明物镜数值孔径（NA）对微孔衍射...
关键词：测量 时域有限差分法 数值孔径 微孔衍射 波前质量 
亚波长金属单狭缝填充金属条的聚焦特性研究
《激光与光电子学进展》2014年第6期167-171,共5页丁功明 齐月静 卢增雄 卢荣胜 周培松 
国家科技重大专项(2009ZX02206)
在亚波长金属单狭缝聚焦结构的基础上,提出了一种易于集成加工的亚波长金属单狭缝填充金属条的超分辨率聚焦结构。采用时域有限差分法(FDTD)对该结构的聚焦特性进行了仿真分析。通过分析研究聚焦结构参数对聚焦效果的影响,获得了超衍射...
关键词：光学器件 超分辨率聚焦 时域有限差分法 金属狭缝结构 
加强科研经费购置大额资产审计监督的思考被引量：1
《技术与创新管理》2013年第5期424-426,共3页崔惠绒 杨志锋 齐月静 
大额资产是科研机构从事科研工作的重要物质保障,为确保科研机构顺利完成科研任务,提高大额资产使用效益,加强科研经费购置大额资产的财务审计就显得尤为重要。通过对科研经费购置大额资产财务审计监督现状的分析,提出规范财务核算、完...
关键词：科研经费 大额资产 审计监督 
基于半导体制冷的某型发射箱温控系统设计被引量：3
《弹箭与制导学报》2011年第1期231-236,共6页张志利 侯传勋 姜毅 齐月静 
阐述了发射箱温控系统设计中保温层厚度、冷热负荷、制冷制热量和相应电源功率的计算步骤,提出了一种基于工况和查表的半导体制冷量快速估算方法。给出了系统软硬件设计,运用单向温度控制、温度偏差梯度控制和PID控制等方法,探讨了适用...
关键词：温控系统 半导体制冷 控制策略 PWM电源 PID控制 LABVIEW 
提高二元计算全息图设计精度的新途径被引量：1
《光学技术》2007年第4期491-493,共3页齐月静 王平 赵跃进 谢敬辉 康果果 
武器装备预研基金资助项目(51464030304BQ0101)
用于非球面光学元件检测的计算全息图的设计与制作精度对实现非球面的高精度检测是至关重要的。为了提高计算全息图的设计精度,采用Householder变换把矛盾方程组的系数矩阵正交三角化,直接求解波面拟合系数,避免了法方程组的构造。全息...
关键词：计算全息图(CGH) 波面拟合 Householder变换 MATLAB 
全选清除导出
共2页<12>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部