齐威

作品数：1被引量：1H指数：1
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供职机构：中国科学院光电研究院更多>>
发文主题：哈特曼波前传感器准直物镜光源波像差哈特曼传感器更多>>
发文领域：机械工程自动化与计算机技术理学电子电信更多>>
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纳米精度波像差检测随机点源阵列照明优化分析被引量：1
《光学学报》2015年第6期159-166,共8页卢增雄 齐月静 齐威 苏佳妮 彭卓君 
中国科学院光电研究院创新项目(Y40B06A12Y)
在基于夏克-哈特曼波前传感器的深紫外物镜系统波像差检测中,均匀高亮度的照明光束是实现纳米精度波像差检测的关键。采用时域有限差分法和部分相干性理论对随机排列微孔阵列衍射波前的强度对比度进行了优化。与周期排列微孔阵列相比,...
关键词：测量 部分相干性理论 微孔阵列 随机排列 强度对比度 
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