刘成涛

作品数：1被引量：2H指数：1
导出分析报告
供职机构：中国科学院光电研究院更多>>
发文主题：衍射微孔数值孔径时域有限差分法更多>>
发文领域：理学机械工程更多>>
发文期刊：《中国激光》更多>>
所获基金：国家科技重大专项更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-1
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
照明物镜数值孔径对微孔衍射波前质量影响分析被引量：2
《中国激光》2015年第2期222-229,共8页齐月静 卢增雄 杨光华 刘成涛 彭卓君 
国家科技重大专项(2009ZX02206)
通过微孔衍射产生高质量的球面波是进行夏克一哈特曼波前传感器（SHWS）高精度标定的关键。采用时域有限差分（FDTD）法，进行了193nm准分子激光照明下有限厚度有限电导率微孔的衍射仿真计算，分析了照明物镜数值孔径（NA）对微孔衍射...
关键词：测量 时域有限差分法 数值孔径 微孔衍射 波前质量 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部